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1. (WO2004095530) PROCEDE POUR APPLIQUER DES REVETEMENTS ADJACENTS SUR UN ELEMENT DE TRAITEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/095530    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/006077
Date de publication : 04.11.2004 Date de dépôt international : 17.03.2004
CIB :
G06F 19/00 (2006.01), H01L 29/06 (2006.01), H01R 24/00 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; TBS Broadcast Center, 3-6 Akasaka 5-Chrome, Minato-Ku, Tokyo 107-8481 (JP) (Tous Sauf US).
ESCHER, Gary [US/US]; (US) (US Seulement).
ALLEN, Mark, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
KUDO, Yasuhisa [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : ESCHER, Gary; (US).
ALLEN, Mark, A.; (US).
KUDO, Yasuhisa; (JP)
Mandataire : SACHAR, Surinder; Oblon, Spivak, McClelland, Maier & Neustadt, P.C., 1940 Ducke Street, Alexandria, VA 22314 (US)
Données relatives à la priorité :
60/458,407 31.03.2003 US
Titre (EN) ADJOINING ADJACENT COATINGS ON AN ELEMENT
(FR) PROCEDE POUR APPLIQUER DES REVETEMENTS ADJACENTS SUR UN ELEMENT DE TRAITEMENT
Abrégé : front page image
(EN)Two or more coatings applied to processing elements of a plasma processing system are treated with protective barriers or coatings. A method is described for adjoining two or more coatings on the processing element. Having applied a first protective barrier (520), a portion of the first protective barrier is treated (530). A second protective barrier is then applied over at least a portion of a region to which the first protective barrier was applied (540).
(FR)Selon l'invention, au moins deux revêtements appliqués sur des éléments de traitement d'un système de traitement au plasma sont traités au moyen de barrières ou de revêtements de protection. Un procédé pour appliquer au moins deux revêtements sur l'élément de traitement est décrit. Ce procédé consiste à appliquer une première barrière de protection, puis à traiter une partie de cette dernière. Il consiste ensuite à appliquer une deuxième barrière de protection sur au moins une partie d'une région où a été appliquée la première barrière de protection.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)