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1. WO2004095154 - AJUSTEMENT D'UN TAUX D'ECHANTILLONNAGE SUR LA BASE DE RESULTATS D'ESTIMATION D'ETAT

Numéro de publication WO/2004/095154
Date de publication 04.11.2004
N° de la demande internationale PCT/US2003/041177
Date du dépôt international 22.12.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 29.10.2004
CIB
G05B 19/418 2006.01
GPHYSIQUE
05COMMANDE; RÉGULATION
BSYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION EN GÉNÉRAL; ÉLÉMENTS FONCTIONNELS DE TELS SYSTÈMES; DISPOSITIFS DE CONTRÔLE OU DE TEST DE TELS SYSTÈMES OU ÉLÉMENTS
19Systèmes de commande à programme
02électriques
418Commande totale d'usine, c.à d. commande centralisée de plusieurs machines, p.ex. commande numérique directe ou distribuée (DNC), systèmes d'ateliers flexibles (FMS), systèmes de fabrication intégrés (IMS), productique (CIM)
CPC
G05B 19/418
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19Programme-control systems
02electric
418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
G05B 19/41865
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19Programme-control systems
02electric
418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
41865characterised by job scheduling, process planning, material flow
G05B 2219/32077
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
32Operator till task planning
32077Batch control system
G05B 2219/32078
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
32Operator till task planning
32078Calculate process end time, form batch of workpieces and transport to process
G05B 2219/32096
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
32Operator till task planning
32096Batch, recipe configuration for flexible batch control
G05B 2219/45031
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
45Nc applications
45031Manufacturing semiconductor wafers
Déposants
  • ADVANCED MICRO DEVICES, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • WANG, Jin
  • CUSSON, Brian, K.
Mandataires
  • DRAKE, Paul, S.
  • WRIGHT, Hugh, R.
Données relatives à la priorité
10/406,67503.04.2003US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) ADJUSTING A SAMPLING RATE BASED ON STATE ESTIMATION RESULTS
(FR) AJUSTEMENT D'UN TAUX D'ECHANTILLONNAGE SUR LA BASE DE RESULTATS D'ESTIMATION D'ETAT
Abrégé
(EN)
A method and an apparatus (120) are provided for adjusting a sampling rate based on a state estimation result. The method comprises receiving metrology data associated with processing of workpieces, estimating a next process state based on at least a portion of the metrology data and determining an error value associated with the estimated next process state. The method further comprises processing a plurality of workpieces based on the estimated next process state and adjusting a sampling protocol of the processed workpieces that are to be measured based on the determined error value.
(FR)
L'invention concerne un procédé et un appareil (120) pour ajuster un taux d'échantillonnage sur la base d'un résultat d'estimation d'état. Ce procédé consiste à recevoir des données métrologiques associées au traitement de pièces, à estimer un état de processus suivant sur la base d'au moins une partie des données métrologiques et à déterminer une valeur d'erreur associée à l'état de processus suivant estimé. Ce procédé consiste en outre à traiter une pluralité de pièces sur la base de l'état de processus suivant estimé et à ajuster un protocole d'échantillonnage des pièces traitées à mesurer sur la base de la valeur d'erreur déterminée.
Également publié en tant que
GB0519909
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