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1. (WO2004095135) DISPOSITIF OPTIQUE D'ELEMENTS A MISE AU POINT AUTOMATIQUE DESTINE A ETRE UTILISE EN LITHOGRAPHIE PAR IMMERSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/095135    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/011287
Date de publication : 04.11.2004 Date de dépôt international : 12.04.2004
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3 Marunouchi, 3-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 100-8331 (JP) (Tous Sauf US).
NOVAK, W., Thomas [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : NOVAK, W., Thomas; (US)
Mandataire : COSTANTINO, Mario; Oliff & Berridge, PLC, P.O. Box 19928, Alexandria, VA 22320 (US)
Données relatives à la priorité :
60/464,392 17.04.2003 US
Titre (EN) OPTICAL ARRANGEMENT OF AUTOFOCUS ELEMENTS FOR USE WITH IMMERSION LITHOGRAPHY
(FR) DISPOSITIF OPTIQUE D'ELEMENTS A MISE AU POINT AUTOMATIQUE DESTINE A ETRE UTILISE EN LITHOGRAPHIE PAR IMMERSION
Abrégé : front page image
(EN)An autofocus unit is provided to an immersion lithography apparatus for having a fluid over a target surface of a workpiece and an image pattern projected on this target surface through the fluid. The autofocus unit has an optical element such as a projection lens disposed opposite and above the target surface. An autofocus light source is arranged to project a light beam obliquely at a specified angle such that this light beam passes through the fluid and is reflected by the target surface of the workpiece at a specified reflection position which is below the optical element. A receiver receives and analyzes the reflected light. Correction lenses may be disposed on the optical path of the light beam for correcting propagation of the light beam.
(FR)L'invention concerne une unité à mise au point automatique destiné à équiper un appareil lithographique en vue d'obtenir qu'un fluide présent sur une surface cible d'une pièce à travailler et un modèle d'image soient projetés sur ladite surface cible au travers dudit fluide. L'unité à mise au point automatique comprend un élément optique, telle qu'une lentille de projection, disposée à l'opposé et au-dessus de la surface cible. Une source lumineuse de mise au point automatique est arrangé pour protéger de manière oblique un faisceau lumineux selon un angle spécifié, de sorte que ce faisceau lumineux traverse le fluide et soit réfléchi par la surface cible de la pièce à travailler au niveau d'une position de réflexion située en dessous de l'élément optique. Un récepteur reçoit et analyse la lumière réfléchie. Des lentilles de correction peuvent être disposées sur le parcours optique du faisceau lumineux pour corriger la propagation de ce dernier.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)