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1. (WO2004094884) PROCEDE ET APPAREIL A SOUPAPE FENDUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/094884    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/011714
Date de publication : 04.11.2004 Date de dépôt international : 15.04.2004
CIB :
F16K 51/02 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventeurs : BLONIGAN, Wendell; (US).
BEER, Emanuel; (US).
SUH, Dongchoon; (US).
MUNOZ, Jamie; (US).
KIM, Sam, H.; (US)
Mandataire : DUGAN, Brian, M.; Dugan & Dugan, PC, 55 South Broadway, Tarrytown, NY 10591 (US)
Données relatives à la priorité :
10/418,682 17.04.2003 US
Titre (EN) SLIT VALVE METHOD AND APPARATUS
(FR) PROCEDE ET APPAREIL A SOUPAPE FENDUE
Abrégé : front page image
(EN)An actuator assembly (101) for a slit valve door (117) is configured to maintain a slit valve in a closed condition notwithstanding a high pressure differential between adjacent chambers that the slit valve isolates from each other. The slit valve door actuator assembly includes an actuator (105) which moves the slit valve door between open and closed positions, and a locking mechanism (123) to keep the slit valve door in a position to seal the slit valve in resistance to high gas pressure against the slit valve door. The locking mechanism may include a hard stop (127) which is selectively movable into position to block retracting movement of the slit valve door.
(FR)Un ensemble d'actionneur (101) pour porte à soupape fendue (117) est configuré pour maintenir une soupape fendue dans un état fermé indépendamment du différentiel de pression élevé entre les chambres adjacentes que la soupape fendue maintient isolées l'une de l'autre. L'actionneur de porte à soupape fendue comprend un actionneur (105) qui déplace la porte à soupape fendue entre les positions ouverte et fermée et un mécanisme de verrouillage (123) destiné à maintenir la porte à soupape fermée dans une position qui permet de coller étanche la soupape fendue à pression élevée contre la porte à soupape fendue. Le mécanisme de verrouillage peut comprendre une butée rigide (127) pouvant être déplacée sélectivement dans une position permettant de bloquer le mouvement de retrait de la porte à soupape fendue.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)