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1. (WO2004094105) APPAREIL ET PROCEDE DE MAINTIEN D'ASPIRATION A VIDE, APPAREIL DE BROYAGE UTILISANT LEDIT APPAREIL DE MAINTIEN, ET PROCEDE DE PRODUCTION DE DISPOSITIF METTANT EN OEUVRE LEDIT APPAREIL DE BROYAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/094105    N° de la demande internationale :    PCT/JP2004/005535
Date de publication : 04.11.2004 Date de dépôt international : 19.04.2004
CIB :
B24B 37/30 (2012.01), B24B 41/00 (2006.01), B24B 49/08 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
IZUMI, Shigeto [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ARAI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : IZUMI, Shigeto; (JP).
ARAI, Hiroshi; (JP)
Mandataire : OHNISHI, Shogo; S.Ohnishi & Associates Higashi-Ikebukuro SS Building 1F 3-20-3 Higashi-Ikebukuro Toshima-ku Tokyo, 1700013 (JP)
Données relatives à la priorité :
2003-120469 24.04.2003 JP
Titre (EN) VACUUM SUCTION HOLDING APPARATUS AND METHOD, GRINDING APPARATUS USING THE HOLDING APPARATUS, AND DEVICE PRODUCING METHOD USING THE GRINDING APPARATUS
(FR) APPAREIL ET PROCEDE DE MAINTIEN D'ASPIRATION A VIDE, APPAREIL DE BROYAGE UTILISANT LEDIT APPAREIL DE MAINTIEN, ET PROCEDE DE PRODUCTION DE DISPOSITIF METTANT EN OEUVRE LEDIT APPAREIL DE BROYAGE
(JA) 真空吸着保持装置及び保持方法と、該保持装置を用いた研磨装置及びこの研磨装置を用いたデバイス製造方法
Abrégé : front page image
(EN)A vacuum suction holding apparatus has a vacuum tube passage (50) provided inside a grinding head (40). One end side of the passage (50) is open at an installation surface (42a) and the other side is connected to a vacuum source (60). A grinding body (30) is sucked and held on the installation surface (42a) of the grinding head (40) by sucking air through the vacuum tube passage (50). The apparatus further has a restriction (52) provided in the passage (50), a first pressure sensor (54) and a second pressure sensor (56) that are used to detect pressures in the passage (50) across the restriction (52), and a determining device (58) for determining whether the grinding body (30) is sucked and installed on the grinding head (40) based on the pressure difference across the restriction (52) detected by the two pressure sensors (54, 56).
(FR)L'invention concerne un appareil de maintien par aspiration à vide comprenant un passage de tube à vide (50) situé à l'intérieur d'une tête de broyage (40). Un côté d'extrémité de ce passage (50) est ouvert au niveau d'une surface d'installation (42a), et l'autre côté est relié à une source de vide (60). Un corps de broyage (30) est aspiré et maintenu sur la surface d'installation (42a) de la tête de broyage (40) par aspiration d'air à travers le passage de tube à vide (50). L'appareil comprend également un étranglement (52) formé dans le passage (50) ; un premier capteur de pression (54) et un deuxième capteur de pression (56) utilisés pour détecter une pression dans le passage (50) à travers l'étranglement (52) ; et un dispositif d'évaluation (58) sert à déterminer si le corps de broyage (30) est aspiré et disposé sur la tête de broyage (40), en fonction de la différence de pression à travers l'étranglement (52) détectée par les deux capteurs de pression (54, 56).
(JA)研磨ヘッド40の内部に設けられて一端側が上記取り付け面42aに開口するとともに他端側が真空源60に接続された真空管路50を有し、この真空管路50を介して空気を吸引することにより研磨ヘッド40の取り付け面42aに研磨体30を吸着保持させる構成を有する。そのうえで、真空管路50中に設けられた絞り52と、この絞り52の前後位置における真空管路50内の圧力を検出する第1圧力センサ54及び第2圧力センサ56と、これら2つの圧力センサ54,56により検出される絞り52前後の圧力差に基づいて、研磨ヘッド40に研磨体30が吸着保持されているか否かを判断する判断装置58とを備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)