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1. (WO2004064407) ENSEMBLE DE PLAQUES DE DISTRIBUTION DE GAZ POUVANT ETRE REGLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/064407    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/041508
Date de publication : 29.07.2004 Date de dépôt international : 31.12.2003
CIB :
C23C 16/44 (2006.01), C23C 16/455 (2006.01), C23C 16/509 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventeurs : BLONIGAN, Wendell, T.; (US).
WHITE, John, M.; (US).
BAGLEY, William, A.; (US)
Mandataire : PATTERSON, B., Todd; Moser, Patterson & Sheridan, L.L.P., 3040 Post Oak Boulevard, Suite 1500, Houston, TX 77056 (US)
Données relatives à la priorité :
10/337,483 07.01.2003 US
Titre (EN) TUNABLE GAS DISTRIBUTION PLATE ASSEMBLY
(FR) ENSEMBLE DE PLAQUES DE DISTRIBUTION DE GAZ POUVANT ETRE REGLE
Abrégé : front page image
(EN)A gas distribution plate assembly and a method for distributing gas in a processing chamber. In one embodiment, a gas distribution plate assembly (700) includes a tuning plate (702A) coupled to a diffuser plate (704). The tuning plate has a plurality of orifice holes (706) formed therethrough that align with a plurality of apertures formed through the diffuser plate, where the apertures each have a greater sectional area than the holes in the tuning plate. Each aperture is aligned with a respective hole to define gas passages (710) through the gas distribution plate assembly. The tuning plate may be interchanged with a replacement tuning plate (702B) to change the gas flow characteristics through the gas distribution plate assembly.
(FR)L'invention concerne un ensemble de plaques de distribution de gaz et un procédé de distribution de gaz dans une chambre de traitement. Dans un mode de réalisation, un ensemble de plaques de distribution de gaz comprend une plaque de réglage couplée à une plaque de diffuseur. La plaque de réglage comprend une pluralité d'orifices formés dans celle-ci et alignés avec une pluralité d'ouvertures formées dans la plaque de diffuseur, chaque ouverture présentant une section supérieure aux trous dans la plaque de réglage et étant alignée avec un trou respectif, de manière à définir des passages du gaz dans l'ensemble de plaques de distribution de gaz. La plaque de réglage peut être échangée avec une plaque de réglage de remplacement, aux fins de changement des caractéristiques d'écoulement du gaz dans l'ensemble de plaques de distribution de gaz.
États désignés : CN, JP.
Office européen des brevets (OEB) (CH).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)