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1. (WO2004063670) PROCEDES ET SYSTEMES A COMMANDE ACTIVEE DE MOUVEMENT DANS DES STRUCTURES DE SYSTEME MECANIQUE MICRO-ELECTRONIQUES (MEMS)
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/063670    N° de la demande internationale :    PCT/US2004/000122
Date de publication : 29.07.2004 Date de dépôt international : 05.01.2004
CIB :
G01C 19/56 (2006.01)
Déposants : HONEYWELL INTERNATIONAL INC. [US/US]; 101 Columbia Road, P.O. Box 2245, Morristown, NJ 07960 (US) (Tous Sauf US)
Inventeurs : PLATT, William, P.; (US)
Mandataire : HOIRIIS, David, Esq.; Honeywell International Inc., 101 Columbia Road, P.O. Box 2245, Morristown, NJ 07960 (US)
Données relatives à la priorité :
10/337,008 06.01.2003 US
Titre (EN) METHODS AND SYSTEMS FOR ACTIVELY CONTROLLING MOVEMENT WITHIN MEMS STRUCTURES
(FR) PROCEDES ET SYSTEMES A COMMANDE ACTIVEE DE MOUVEMENT DANS DES STRUCTURES DE SYSTEME MECANIQUE MICRO-ELECTRONIQUES (MEMS)
Abrégé : front page image
(EN)A method for reducing effects of common mode oscillations between two respective proof masses (12, 13) in micro-electromechanical systems (MEMS) devices (10) is described. The MEMS devices also include a motor pickoff comb (20, 21), a sense plate (22, 23), a motor drive comb (18, 19) for each proof mass. The method includes amplifying signals (54, 56) received from respective motor pickoff combs, inverting the amplified signal (62) from one of the motor pickoff combs, and generating a difference signal (72) between the inverted, amplified signal from one pickoff comb, and the non-inverted, amplified signal from the other pickoff comb. The method also includes inputting the difference signal into a control loop (80) and generating motor drive signals (50, 52) for respective motor drive combs with the control loop.
(FR)L'invention concerne un procédé destiné à réduire les effets d'oscillations de mode commun entre deux masses de preuve respectives (12, 13) dans des dispositifs de systèmes micro-électromécaniques (MEMS) (10). Ces dispositifs (MEMS) comprennent également des peignes de détection de moteur (20, 21), une plaque de détection (22, 23), et un peigne d'entraînement de moteur (18, 19) pour chaque masse de preuve. Le procédé consiste à amplifier des signaux (54, 56) reçus à partir de peignes de détection de moteur respectifs, à inverser le signal amplifié (62) d'un des peignes de détection de moteur, et à générer un signal de différence (72) entre le signal amplifié, inversé d'un peigne de détection et le signal amplifié, non inversé d'un autre peigne de détection. Le procédé consiste également à émettre le signal de différence dans une boucle de commande (80) et à produire des signaux d'entraînement de moteur (50, 52) pour les peignes d'entraînement de moteur respectifs avec la boucle de commande.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)