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1. (WO2004063661) APPAREIL ET PROCEDE DE MESURE DE L'EPAISSEUR D'UN FILM AU MOYEN D'UNE TRANSFORMATION DE FOURIER RAPIDE AMELIOREE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/063661    N° de la demande internationale :    PCT/KR2003/001203
Date de publication : 29.07.2004 Date de dépôt international : 18.06.2003
CIB :
G01B 11/06 (2006.01)
Déposants : ELLIPSO TECHNOLOGY CO., LTD. [KR/KR]; #210 Ajou University Sanhakwon, San-5 Woncheon-dong, Paldal-gu, Suwon-si, Gyeonggi-do 442-479 (KR) (Tous Sauf US).
KIM, Sang-Youl [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
KIM, Sang-Jun [KR/KR]; (KR) (US Seulement)
Inventeurs : KIM, Sang-Youl; (KR).
KIM, Sang-Jun; (KR)
Mandataire : CHUNG, Yeon-Yong; #1203 Hyundai Topics Bldg., 44-3 Bangi-dong, Songpa-gu, Seoul 138-050 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2003-0001854 11.01.2003 KR
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR MEASUREMENT OF FILM THICKNESS USING IMPROVED FAST FOURIER TRANSFORMATION
(FR) APPAREIL ET PROCEDE DE MESURE DE L'EPAISSEUR D'UN FILM AU MOYEN D'UNE TRANSFORMATION DE FOURIER RAPIDE AMELIOREE
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to an apparatus and method for a measurement of a film thickness using an improved fast Fourier transformation. The apparatus includes a light source, a light receiving unit for converging a light from the light source, a detection unit for splitting a reflection light reflected by the surface of the sample and inputted into the optical fabric through the lens, and outputted to the other side of the optical fabric based on a light intensity of each wavelength and providing a certain amount of wavelength, a conversion unit for converting a wavelength based spectrum data detected by the detection unit into an analog signal and then converting into a digital signal through a converter, a computation unit for computing the number of vibrations based on a high speed Fourier transformation, and an analyzing unit for measuring a film thickness.
(FR)La présente invention se rapporte à un appareil et à un procédé de mesure de l'épaisseur d'un film au moyen d'une transformation de Fourier rapide améliorée. Ledit appareil comprend une source de lumière, une unité réceptrice de lumière conçue pour faire converger une lumière provenant de la source de lumière, une unité de détection conçue pour diviser une lumière de réflexion réfléchie par la surface de l'échantillon, entrée dans la matrice de commutation optique par l'intermédiaire de la lentille et sortie de l'autre côté de la matrice de commutation optique en fonction de l'intensité lumineuse de chaque longueur d'onde, une intensité donnée étant fournie pour chaque longueur d'onde, une unité de conversion conçue pour convertir des données spectrales basées sur la longueur d'onde et détectées par l'unité de détection en un signal analogique, puis à convertir celui-ci en un signal numérique au moyen d'un convertisseur, une unité de calcul conçue pour calculer le nombre de vibrations en fonction d'une transformation de Fourier très rapide, et une unité d'analyse conçue pour mesurer une épaisseur de film.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : coréen (KO)