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1. (WO2004063418) ELEMENT D'APPAREIL DESTINE AU TRAITEMENT PLASMA, ELEMENT D'APPAREIL DE TRAITEMENT, APPAREIL DESTINE AU TRAITEMENT PLASMA, APPAREIL DE TRAITEMENT ET PROCEDE DE TRAITEMENT PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/063418    N° de la demande internationale :    PCT/JP2004/000179
Date de publication : 29.07.2004 Date de dépôt international : 14.01.2004
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    23.06.2004    
CIB :
C23C 8/36 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (Tous Sauf US).
OHMI, Tadahiro [JP/JP]; (JP).
SHIRAI, Yasuyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KITANO, Masafumi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : OHMI, Tadahiro; (JP).
SHIRAI, Yasuyuki; (JP).
KITANO, Masafumi; (JP)
Mandataire : KANEMOTO, Tetsuo; Kanemoto, Kameya, Hagiwara and Inoue Shinjuki Akebonobashi Building 1-12, Sumiyoshi-cho Shinjuku-ku, Tokyo 1620065 (JP)
Données relatives à la priorité :
2003-006213 14.01.2003 JP
2003-028476 05.02.2003 JP
Titre (EN) MEMBER OF APPARATUS FOR PLASMA TREATMENT, MEMBER OF TREATING APPARATUS, APPARATUS FOR PLASMA TREATMENT, TREATING APPARATUS AND METHOD OF PLASMA TREATMENT
(FR) ELEMENT D'APPAREIL DESTINE AU TRAITEMENT PLASMA, ELEMENT D'APPAREIL DE TRAITEMENT, APPAREIL DESTINE AU TRAITEMENT PLASMA, APPAREIL DE TRAITEMENT ET PROCEDE DE TRAITEMENT PLASMA
(JA) プラズマ処理装置用の部材、処理装置用の部材、プラズマ処理装置、処理装置及びプラズマ処理方法
Abrégé : front page image
(EN)A method of plasma treatment which comprises allowing an article comprising an aluminum alloy to be treated to have a predetermined temperature, introducing a gas containing an oxygen gas and krypton into a treating chamber from a supplying source for a treating gas, and then generating a plasma by a micro wave in the treating chamber, to thereby generate oxygen radicals and subject the surface of the article to be treated to a radical oxidation treatment. The method allows the formation of an oxide coating film being dense and improved in corrosion resistance on the surface of the article to be treated.
(FR)L'invention concerne un procédé de traitement plasma qui consiste à permettre à un article contenant un alliage d'aluminium à traiter, à atteindre une température prédéfinie, à introduire un gaz contenant un gaz d'oxygène et du krypton dans une chambre de traitement à partir d'une source d'alimentation destinée à un gaz de traitement, et à produire un plasma par le biais d'une micro-onde dans la chambre de traitement, en vue de produire des radicaux d'oxygène et à soumettre la surface de l'article à traiter à un traitement d'oxydation radicalaire. Le procédé de l'invention permet de former un film de revêtement d'oxyde dense et amélioré sur le plan de la résistance à la corrosion sur la surface de l'article à traiter.
(JA)本発明によれば,処理容器内のアルミニウム合金からなる被処理体の温度を所定温度にした状態で,処理容器内に処理ガス供給源から酸素ガスとクリプトンを混入したガスを導入して,マイクロ波によって処理容器内にプラズマを発生させる。それによって発生した酸素ラジカルによって被処理体の表面にラジカル酸化処理を行うことにより,被処理体の表面には,密で耐食性の向上した酸化物被膜が形成される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)