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1. WO2004061987 - ACTIONNEUR PIEZO-ELECTRIQUE

Numéro de publication WO/2004/061987
Date de publication 22.07.2004
N° de la demande internationale PCT/DE2003/003366
Date du dépôt international 10.10.2003
CIB
H01L 41/083 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
08Eléments piézo-électriques ou électrostrictifs
083avec une structure empilée ou multicouche
CPC
H01L 41/0833
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
083having a stacked or multilayer structure
0833with non-rectangular cross-section orthogonal to the stacking direction, e.g. polygonal, circular
Déposants
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • BOECKING, Friedrich [DE]/[DE] (UsOnly)
  • SCHOOR, Ulrich [DE]/[DE] (UsOnly)
  • SUGG, Bertram [DE]/[DE] (UsOnly)
Inventeurs
  • BOECKING, Friedrich
  • SCHOOR, Ulrich
  • SUGG, Bertram
Données relatives à la priorité
102 60 854.723.12.2002DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) PIEZOAKTOR
(EN) PIEZO ACTUATOR
(FR) ACTIONNEUR PIEZO-ELECTRIQUE
Abrégé
(DE)
Es wird ein Piezoaktor, beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils, vorgeschlagen, bei dem ein Mehrschichtaufbau von Piezolagen (2) und dazwischen angeordnete Innenelektroden (3, 4) vorhanden sind. Es ist eine wechselseitige Kontaktierung der Innenelektroden (3, 4) mit Aussenelektroden (5, 6) vorhanden und der Piezoaktor (1) weist gefaste Ecken oder Kanten (10) auf. Im Bereich der Ecken oder Kanten (10) an den Seiten des Piezoaktors (1), an den mit wechselnder Polarität die Innenelektroden (3, 4) zu den jeweiligen Aussenelektroden (5, 6) geführt sind, weisen die Innenelektroden (3) eine solche Kontur auf, dass eine verminderte Feldstärke zwischen den Innenelektroden (3, 4) unterschiedlicher Polarität im Aufbau der Piezolagen (2) herstellbar ist. Dies wird erreicht, indem die Kante (10) an der Seite, die nicht mit Aussenelektroden (5, 6) kontaktiert ist, einen stumpfen Winkel (α) aufweist oder gerundet ist.
(EN)
The invention relates to a piezo actuator, for example, for actuating a mechanical component, in which a multilayer structure consisting of piezo layers (2) and inner electrodes (3, 4) arranged therebetween are provided. A mutual contacting of the inner electrodes (3, 4) with outer electrodes (5, 6) is provided, and the piezo actuator (1) has chamfered corners or edges (10). In the area of the corners or edges (10) on the sides of the piezo actuator (1), on which the inner electrodes (3, 4) are led with alternating polarity to the respective outer electrodes (5, 6), the inner electrodes (3) have a contour that enables the generation of a reduced field intensity between the inner electrodes (3, 4) of a different polarity in the structure consisting of the piezo layers (2). This is achieved by virtue of the fact that the edge (10) on the side, which is not contacted by the outer electrodes (5, 6), has an obtuse angle ($g(a)) or is rounded.
(FR)
L'invention concerne un actionneur piézo-électrique, servant par exemple à actionner un élément mécanique, pour lequel il est prévu une structure multicouche de couches piézo-électriques (2) et des électrodes intérieures (3, 4) disposées entre. Il existe une mise en contact mutuelle des électrodes intérieures (3, 4) avec les électrodes extérieures (5, 6) et l'actionneur piézo-électrique (1) présente des angles ou des arêtes (10) chanfreinés. Dans la zone des angles ou des arêtes (10), sur les faces de l'actionneur piézo-électrique (1) où les électrodes intérieures (3, 4) sont guidées jusqu'aux électrodes extérieures (5, 6) respectives, avec la variation de la polarité, les électrodes intérieures (3) présentent un contour permettant d'obtenir une intensité de champ réduite entre les électrodes intérieures (3, 4) de polarité différente, dans l'élaboration des couches piézo-électriques (2). Pour ce faire, l'arête (10) située sur la face qui ne fait pas contact avec les électrodes extérieures (5, 6) présente un angle obtus ($g(a)) ou est arrondie.
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