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1. (WO2004061929) GENERATEUR DE PLASMA, GENERATEUR D'OZONE, APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF A SEMI-CONDUCTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/061929    N° de la demande internationale :    PCT/JP2003/016887
Date de publication : 22.07.2004 Date de dépôt international : 26.12.2003
CIB :
C01B 13/11 (2006.01), H05H 1/24 (2006.01)
Déposants : HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. [JP/JP]; 14-20, Higashi-Nakano 3-chome, Nakano-ku, Tokyo 164-8511 (JP) (Tous Sauf US).
SATO, Noriyoshi [JP/JP]; (JP).
TANIGUCHI, Takeshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MASE, Hiroshi [JP/JP]; (JP).
FUJII, Shuitsu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
FUJIWARA, Tamiya [JP/JP]; (JP).
ADTEC PLASMA TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 5-6-10, Hikino-cho, Fukuyama-shi, Hiroshima 721-0942 (JP) (Tous Sauf US)
Inventeurs : SATO, Noriyoshi; (JP).
TANIGUCHI, Takeshi; (JP).
MASE, Hiroshi; (JP).
FUJII, Shuitsu; (JP).
FUJIWARA, Tamiya; (JP)
Mandataire : YUI, Tohru; 21 TOWA BLDG. 3F, 4-6-1, Iidabashi, Chiyoda-ku, Tokyo 102-0072 (JP)
Données relatives à la priorité :
2002-379963 27.12.2002 JP
Titre (EN) PLASMA GENERATOR, OZONE GENERATOR, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
(FR) GENERATEUR DE PLASMA, GENERATEUR D'OZONE, APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF A SEMI-CONDUCTEUR
(JA) プラズマ発生装置、オゾン発生装置、基板処理装置、及び半導体デバイスの製造方法
Abrégé : front page image
(EN)A generator which generates a plasma or ozone highly efficiently is disclosed. The generator has a simple structure and can be handled easily. An electrode portion (10) is composed of electrodes (11, 12) without interposition of a dielectric body. An arc-suppression capacitor (13) as a charge storage portion where charges are stored is connected in series with the electrode portion (10). An alternating-current power supply (15) is connected to the both ends of the series circuit composed of the electrode portion (10) and the arc-suppression capacitor (13) for charging/discharging the arc-suppression capacitor (13) through application of an alternating voltage, so that a self arc-suppressing discharge occurs between the electrodes (11, 12), thereby generating a plasma. The arc-suppression capacitor (13) and the electrode (12) of the electrode portion (10) connected thereto are unitized to multipolarize the electrode portion easily. The unit is composed of a floating electrode which serves as both the electrode (12) of the electrode portion (10) and one electrode of the capacitor (13), an insulator arranged around the floating electrode, and a ground electrode arranged around the insulator.
(FR)L'invention concerne un générateur qui génère du plasma ou de l'ozone avec efficacité. Ce générateur, qui présente une structure simple, peut être facilement manipulé. Une partie électrode (10) est composée d'électrodes (11, 12) sans interposition d'un corps diélectrique. Un condensateur d'extinction d'arc (13), qui comprend une partie de stockage de charge dans laquelle les charges sont stockées, est monté en série sur la partie électrode (10). Une source d'alimentation en courant alternatif (15) est connectée aux deux extrémités du circuit en série composé de la partie électrode (10) et du condensateur d'extinction d'arc (13) afin de charger/décharger le condensateur d'extinction d'arc (13) par l'application d'une tension alternative, de façon qu'une décharge à extinction d'arc automatique (13) se produise entre les électrodes (11, 12), générant ainsi un plasma. Le condensateur d'extinction d'arc (13) et l'électrode (12) de la partie électrode (10) connectée audit condensateur sont unis afin de multipolariser facilement la partie électrode. L'unité est composée d'une électrode flottante qui sert d'électrode (12) de la partie électrode (10) et d'électrode du condensateur (13) et également composée d'un isolateur disposé autour de l'électrode flottante et d'une électrode de masse disposée autour de l'isolateur.
(JA)簡単な構造でありながら、プラズマやオゾンを高効率に発生し、取り扱いが容易な発生装置を得るようにする。 誘電体を介在しない電極11、12からなる電極部10を構成する。この電極部10に電荷を蓄積する電荷蓄積部としての消弧コンデンサ13を直列に接続する。電極部10と消弧コンデンサ13との直列回路の両端に、交流電圧を印加して消弧コンデンサ13を充放電させ、電極11、12間に自己消弧放電を生じさせてプラズマを発生させる交流電源15を接続する。電極部の多極化を容易にするために、消弧コンデンサ13と、これに接続される側の電極部10の一方の電極12とをユニット化する。ユニットは、電極部10の一方の電極12とコンデンサ13の一方の電極とを兼用した浮遊電極と、浮遊電極の周囲に設けられた絶縁体と、絶縁体周囲に設けられた接地電極とから構成する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)