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1. (WO2004061892) SYSTEME ET PROCEDE D'OBSERVATION D'ECHANTILLONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/061892    N° de la demande internationale :    PCT/JP2003/015476
Date de publication : 22.07.2004 Date de dépôt international : 03.12.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    05.10.2004    
CIB :
G01N 23/225 (2006.01), H01J 37/02 (2006.01)
Déposants : ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 1-32-1, Asahi-cho, Nerima-ku, Tokyo 179-0071 (JP) (Tous Sauf US).
SEYAMA, Masahiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KURIBARA, Masayuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
HARA, Toshihiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ARAKAWA, Kazuhiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
IWAI, Toshimichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SEYAMA, Masahiro; (JP).
KURIBARA, Masayuki; (JP).
HARA, Toshihiko; (JP).
ARAKAWA, Kazuhiro; (JP).
IWAI, Toshimichi; (JP)
Mandataire : RYUKA, Akihiro; 6F, Toshin Building, 24-12, Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 160-0022 (JP)
Données relatives à la priorité :
2002-380192 27.12.2002 JP
Titre (EN) SAMPLE OBSERVING SYSTEM AND SAMPLE OBSERVING METHOD
(FR) SYSTEME ET PROCEDE D'OBSERVATION D'ECHANTILLONS
(JA) 試料観察装置、及び試料観察方法
Abrégé : front page image
(EN)A sample observing system comprising an electron gun (14) for irradiating the surface of a sample (24) with an electron beam (12), a section (50) for controlling the potential on the surface of the sample to a predetermined level by applying a voltage to the sample based on the charging amount on the surface thereof, a section (16) for detecting electrons being generated when the surface of the sample is irradiated with the electron beam, and a section (32) for acquiring the surface state of the sample based on the electrons thus detected.
(FR)L'invention concerne un système d'observation d'échantillons comprenant un canon à électrons (14) qui permet d'irradier la surface d'un échantillon (24) au moyen d'un faisceau d'électrons (12), une unité (50) qui permet de régler le potentiel sur la surface de l'échantillon à un niveau prédéterminé en appliquant une tension sur l'échantillon en fonction du taux de charge appliquée sur la surface de l'échantillon, une unité (16) qui permet de détecter les électrons générés lorsque la surface de l'échantillon est irradiée au moyen du faisceau d'électrons, enfin une unité (32) qui permet d'acquérir l'état de la surface de l'échantillon en fonction des électrons ainsi détectés.
(JA)not available
États désignés : DE, JP, US.
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)