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1. (WO2004061881) CONDENSATEUR A FILM MINCE ET SON PROCEDE DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/061881    N° de la demande internationale :    PCT/JP2003/016654
Date de publication : 22.07.2004 Date de dépôt international : 25.12.2003
CIB :
H01G 4/12 (2006.01), H01G 4/32 (2006.01), H01G 4/33 (2006.01), H01L 29/76 (2006.01)
Déposants : TDK CORPORATION [JP/JP]; 1-13-1, Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo 103-8272 (JP)
Inventeurs : SAKASHITA, Yukio; (JP).
CHOI, Kyung-ku; (JP)
Mandataire : OISHI, Koichi; 8th Floor, Yusen-Awajicho Building, 4-1, Kandaawajicho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 101-0063 (JP)
Données relatives à la priorité :
10/331,140 27.12.2002 US
Titre (EN) THIN FILM CAPACITOR AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) CONDENSATEUR A FILM MINCE ET SON PROCEDE DE FABRICATION
(JA) 薄膜コンデンサおよびその製造方法
Abrégé : front page image
(EN)A small-sized, high-capacity thin film capacitor which is excellent in dielectric characteristics and a method for manufacturing such a capacitor are disclosed. The thin film capacitor comprises a supporting substrate having a surface oriented in the [001] direction, a buffer layer disposed on the supporting layer and having a surface oriented in the [001] direction, a lower electrode thin film disposed on the buffer layer and oriented in the [001] direction, a dielectric thin film disposed on the lower electrode thin film and containing a bismuth lamellar compound oriented in the [001] direction, namely in the c-axis direction, and an upper electrode thin film disposed on the dielectric thin film.
(FR)L'invention porte sur un condensateur à film mince, de haute capacité et de faible encombrement, qui présente d'excellentes caractéristiques diélectriques, et sur un procédé de fabrication de ce condensateur. Le condensateur à film mince comprend un substrat dont une surface est orientée dans le sens [001], une couche tampon disposée sur la couche de support et dont une surface est orientée dans le sens [001], un film mince d'électrode inférieure disposé sur la couche tampon et orienté dans le sens [001], un film mince de diélectrique disposé sur le film mince de l'électrode inférieure et contenant un composé lamellaire de bismuth orienté dans le sens [001], à savoir dans le sens de l'axe c, et un film mince d'électrode supérieure disposé sur le film mince de diélectrique.
(JA)本発明は、小型で、かつ、大容量の誘電特性に優れた薄膜コンデンサおよびその製造方法を提供することを目的とするものである。本発明にかかる薄膜コンデンサは、表面が[001]方位に配向している支持基板と、支持基板上に設けられ、表面が[001]方位に配向しているバッファ層と、バッファ層上に設けられ、[001]方位に配向している下部電極薄膜と、下部電極薄膜上に設けられ、[001]方位に、すなわち、c軸方向に配向されているビスマス層状化合物を含む誘電体薄膜と、誘電体薄膜上に設けられた上部電極薄膜とを備えている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)