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1. (WO2004061440) PROCEDE ET SYSTEME POUR INSPECTION OPTIQUE D'OBJETS PRESENTANT OU NE PRESENTANT PAS DE MOTIFS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/061440    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/036837
Date de publication : 22.07.2004 Date de dépôt international : 17.11.2003
CIB :
G01N 21/21 (2006.01), G01N 21/95 (2006.01), G01N 21/956 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD. [IL/IL]; 8 Oppenheimer Street, 76236 Rehovot (IL) (Tous Sauf US).
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.O. Box 450A, Santa Clara, CA 95052 (US) (Tous Sauf US).
SOME, Daniel, I. [IL/IL]; (IL) (US Seulement)
Inventeurs : SOME, Daniel, I.; (IL)
Mandataire : FAHMI, Tarek, N.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP, 12400 Wilshire Boulevard, 7th Floor, Los Angeles, CA 90025 (US)
Données relatives à la priorité :
60/437,545 30.12.2002 US
10/453,149 02.06.2003 US
Titre (EN) METHOD AND SYSTEM FOR OPTICAL INSPECTION OF PATTERNED AND NON-PATTERNED OBJECTS
(FR) PROCEDE ET SYSTEME POUR INSPECTION OPTIQUE D'OBJETS PRESENTANT OU NE PRESENTANT PAS DE MOTIFS
Abrégé : front page image
(EN)Systems and methods for optical inspection of patterned and non-patterned objects. The methods include determining a state of polarization of light reflected from the object, establishing a polarization state of the incident light, and filtering the reflected light by polarization so as to provide an optical signal that is detected by a detector.
(FR)L'invention concerne des systèmes et des procédés pour une inspection optique d'objets présentant ou ne présentant pas de motifs. Lesdits procédés comprennent les étapes suivantes : déterminer un état de polarisation de la lumière réfléchie par l'objet, établir un état de polarisation de la lumière incidente, et filtrer la lumière réfléchie par polarisation, de façon à obtenir un signal optique, détecté par un détecteur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)