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1. (WO2004061429) SUIVI DE L'EROSION DE COMPOSANTS DE SYSTEME PAR EMISSION OPTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/061429    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/039110
Date de publication : 22.07.2004 Date de dépôt international : 24.12.2003
CIB :
G01J 3/30 (2006.01), G01J 3/443 (2006.01), G01N 21/00 (2006.01), G01N 21/64 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; TBS Broadcast Center, 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (Tous Sauf US).
LUDVIKSSON, Audunn [IS/US]; (US) (US Seulement).
STRANG, Eric, J. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : LUDVIKSSON, Audunn; (US).
STRANG, Eric, J.; (US)
Mandataire : CASEY, Michael, R.; Oblon, Spivak, McClelland, Maier & Neustadt, P.C., 1940 Duke Street, Alexandria, VA 22314 (US)
Données relatives à la priorité :
10/331,456 31.12.2002 US
Titre (EN) MONITORING EROSION OF SYSTEM COMPONENTS BY OPTICAL EMISSION
(FR) SUIVI DE L'EROSION DE COMPOSANTS DE SYSTEME PAR EMISSION OPTIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A method and system (21) are provided for monitoring erosion of system components in a plasma processing system. The system components contain emitters that are capable of producing characteristic fluorescent light emission when exposed to a plasma. The method utilizes optical emission to monitor fluorescent light emission from the emitters for determining system component status. The method can evaluate erosion of system components in a plasma, by monitoring fluorescent light emission from the emitters. Consumable system components that can be monitored using the method include rings (60, 62), shields (14), electrodes (24), baffles (64), and liners.
(FR)L 'invention concerne un procédé et un système (21) permettant de surveiller l'érosion des composants dans un système de traitement par plasma. Les composants du système contiennent des émetteurs qui sont capables de produire une émission lumineuse fluorescente caractéristique une fois exposés à un plasma. Le procédé utilise l'émission optique pour surveiller l'émission lumineuse fluorescente des émetteurs afin de déterminer l'état du composant du système. Le procédé permet d'évaluer l'érosion des composants du système dans un plasma, en surveillant l'émission lumineuse fluorescente des émetteurs. Les composants consommables du système qui peuvent être surveillés afin d'utiliser le procédé comprennent des bagues (60, 62), des écrans (14), des électrodes (24), des cloisons (64), et des séparateurs.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)