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1. (WO2004059691) DETECTEUR ELECTRONIQUE SECONDAIRE DESTINE NOTAMMENT A UN MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE

Pub. No.:    WO/2004/059691    International Application No.:    PCT/CZ2003/000033
Publication Date: 15 juil. 2004 International Filing Date: 13 juin 2003
IPC: H01J 37/244
Applicants: TESCAN, S.R.O.
JACKA, Marcus
ZADRAZIL, Martin
LOPOUR, Filip
Inventors: JACKA, Marcus
ZADRAZIL, Martin
LOPOUR, Filip
Title: DETECTEUR ELECTRONIQUE SECONDAIRE DESTINE NOTAMMENT A UN MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE
Abstract:
La présente invention concerne un détecteur électronique secondaire (1) destiné notamment à un microscope électronique à balayage. L'invention vise à produire un détecteur électronique secondaire (1) comprenant un détecteur (2) placé dans une chambre de détecteur (3) qui est reliée à une pompe à vide (10) permettant de créer le vide dans cette chambre de détecteur (3). La paroi de la chambre de détecteur (3) est, à proximité de la surface active du détecteur (2), fermée par une membrane poreuse présentant une grande résistance à la transmission de gaz et une faible résistance à la transmission d'électrons. La grille électroconductrice (11) se présente sous la forme d'un écran de cuivre ou d'une membrane (12) dotée d'orifices (13) et est pourvue des deux côtés d'un revêtement conducteur (14, 15). A l'extérieur de la chambre de détecteur (3), la grille électroconductrice (11) est recouverte d'un écran d'entrée (18) généralement de forme hémisphérique et connecté à une source basse tension (19) de 80 à 150 V.