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1. WO2004059679 - COMMUTATEUR RF MECANIQUE MICROELECTRIQUE

Numéro de publication WO/2004/059679
Date de publication 15.07.2004
N° de la demande internationale PCT/US2003/040013
Date du dépôt international 17.12.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 11.06.2004
CIB
H01H 59/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
HINTERRUPTEURS ÉLECTRIQUES; RELAIS; SÉLECTEURS; DISPOSITIFS DE PROTECTION
59Relais électrostatiques; Relais à électro-adhésion
CPC
H01H 2001/0089
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
1Contacts
0036Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS] ;
0089Providing protection of elements to be released by etching of sacrificial element; Avoiding stiction problems, e.g. of movable element to substrate
H01H 2059/0018
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
59Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
0009making use of micromechanics
0018Special provisions for avoiding charge trapping, e.g. insulation layer between actuating electrodes being permanently polarised by charge trapping so that actuating or release voltage is altered
H01H 2059/0036
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
59Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
0009making use of micromechanics
0036Movable armature with higher resonant frequency for faster switching
H01H 2059/0072
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
59Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
0009making use of micromechanics
0072with stoppers or protrusions for maintaining a gap, reducing the contact area or for preventing stiction between the movable and the fixed electrode in the attracted position
H01H 59/0009
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
59Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
0009making use of micromechanics
Déposants
  • NORTHROP GRUMMAN CORPORATION [US]/[US]
Inventeurs
  • BLUZER, Nathan
Mandataires
  • GATES, William, L.
Données relatives à la priorité
10/321,56218.12.2002US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) MICROELECTROMECHANICAL RF SWITCH
(FR) COMMUTATEUR RF MECANIQUE MICROELECTRIQUE
Abrégé
(EN)
A MEMS switch with a bridge having three symmetric arms each having one end connected to a support arrangement and another end integral with a common central bridge portion. First and second conductors are deposited on a substrate, with the first conductor having an end with an open area which encompasses a pull down electrode which is also on the substrate, and of a height less than that of the conductor. A control voltage applied to the pull down electrode causes downward movement of the bridge, to present a relatively low impedance, thereby allowing a signal to propagate between the first and second conductors, without the bridge touching the pull down electrode. Each of the arms is slotted to reduce curl-induced stiffness.
(FR)
L'invention concerne un commutateur MEMS à pont, qui comprend trois bras symétriques présentant chacun une extrémité connectée à un support, et une autre extrémité solidaire d'une partie centrale commune du pont. Un premier et un second conducteurs sont disposés sur un substrat. Le premier conducteur comprend une extrémité présentant une zone ouverte recouvrant une électrode de polarisation à la masse, également disposée sur le substrat, et dont la hauteur est inférieure à celle du conducteur. Une tension de commande appliquée sur l'électrode de polarisation à la masse entraîne un mouvement descendant du pont pour présenter une faible impédance, ce qui permet à un signal de se propager entre le premier et le second conducteurs, sans que le pont touche l'électrode de polarisation à la masse. Chaque bras est crénelé pour réduire la rigidité induite par les boucles.
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