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1. (WO2004059405) PROCEDE ET APPAREIL DE COMMANDE DE PARTIES DANS UN SYSTEME DE TRAITEMENT DE MATERIAU
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/059405    N° de la demande internationale :    PCT/IB2003/006452
Date de publication : 15.07.2004 Date de dépôt international : 25.11.2003
CIB :
G05B 19/418 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; TBS Broadcast Center, 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP)
Inventeurs : KLEKOTKA, James, E.; (US)
Mandataire : SUZUYE, Takehiko; Suzuye & Suzuye, 7-2, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-0013 (JP)
Données relatives à la priorité :
10/331,340 31.12.2002 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR MONITORING PARTS IN A MATERIAL PROCESSING SYSTEM
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE COMMANDE DE PARTIES DANS UN SYSTEME DE TRAITEMENT DE MATERIAU
Abrégé : front page image
(EN)The present invention presents an improved apparatus and method for monitoring parts in a material processing system (100), wherein the material processing system (100) includes a processing tool, a number of RF-responsive part identifiers (190) coupled to the processing tool to generate and transmit part ID data, and a sensor interface assembly (SIA) (180) configured to receive the part ID data from the plurality of RF-responsive part identifiers (190).
(FR)L'invention concerne un appareil amélioré et un procédé de commande de parties d'un système de traitement de matériau, ce système comprenant un outil de traitement, un certain nombre d'identificateurs de parties sensibles à la radiofréquence couplés à l'outil de traitement afin de produire et de transmettre des données d'identité de la partie, et un ensemble de connexions de capteurs (SIA) conçus de manière à recevoir les données d'identité de la partie à partir de plusieurs identificateurs de parties sensibles à la radiofréquence.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)