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1. (WO2004059313) SYSTEME, PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LA SEPARATION DE SIGNAL EN SUBSTRAT A FILM MINCE REPOSANT SUR L'UTILISATION DE COURANTS DE FOUCAULT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/059313    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/041084
Date de publication : 15.07.2004 Date de dépôt international : 22.12.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    15.07.2004    
CIB :
G01B 7/06 (2006.01), G01N 27/72 (2006.01), G01R 33/12 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538 (US)
Inventeurs : GOTKIS, Yehiel; (US)
Mandataire : LEAVELL, George, B.; Martine & Penilla, LLP, 710 Lakeway Drive, Suite 170, Sunnyvale, CA 94085 (US)
Données relatives à la priorité :
10/328,912 23.12.2002 US
Titre (EN) SYSTEM, METHOD AND APPARATUS FOR THIN-FILM SUBSTRATE SIGNAL SEPARATION USING EDDY CURRENT
(FR) SYSTEME, PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LA SEPARATION DE SIGNAL EN SUBSTRAT A FILM MINCE REPOSANT SUR L'UTILISATION DE COURANTS DE FOUCAULT
Abrégé : front page image
(EN)A system and method for determining a component of an eddy current sensor (ECS) signal attributable to a substrate includes placing a substrate in a first position relative to an ECS at a first distance from the ECS. The substrate can include a conductive film on a first surface of the substrate. A first ECS signal can be detected with the substrate in the first position. The substrate can then be inverted relative to the ECS such that the substrate is in a second position relative to the ECS at a second distance from the ECS. The second distance is equal to the first distance less about a thickness of the substrate. A second ECS signal is detected with the substrate in the second position. A difference signal is determined. The difference signal is equal to a difference between a first signal level on a calibration graph for the ECS and the second signal level. The second signal level being shifted a distance about equal to the thickness of the substrate. A first substrate component of the first ECS signal is calculated. The first substrate component of the first ECS signal is equal to a product of the first distance and the difference signal, divided by the thickness of the substrate.
(FR)L'invention concerne un système et un procédé permettant de déterminer une composante de signal de capteur de courants de Foucault attribuable à un substrat. On place un substrat dans une première position par rapport au capteur, à une première distance du capteur. Le substrat peut comporter un film conducteur sur une première surface. On peut ensuite inverser sa position pour lui donner une second position par rapport au capteur, à une seconde distance du capteur égale à la première moins environ une épaisseur du substrat. On détecte un second signal de capteur pour la seconde position. Un signal de différence est alors déterminé. Ce signal équivaut à la différence entre un premier niveau de signal sur une courbe d'étalonnage pour le capteur et le second niveau de signal, lequel est décalé d'une distance environ égale à l'épaisseur du substrat. Une première composante de substrat du premier signal de capteur est alors calculée. Cette composante équivaut au produit de la première distance et du signal de différence, divisé par l'épaisseur du substrat.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)