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1. (WO2004059270) DISPOSITIF ET PROCEDE SERVANT A MESURER DES INTENSITES LUMINEUSES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/059270    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/039946
Date de publication : 15.07.2004 Date de dépôt international : 16.12.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    15.07.2004    
CIB :
G01J 1/42 (2006.01)
Déposants : AXCELIS TECHNOLOGIES INC. [US/US]; 108 Cherry Hill Drive, Beverly, MA 01915 (US)
Inventeurs : JANOS, Alan; (US).
ZHANG, Betty; (US)
Mandataire : BURKE, Steven D.; R.G.C.JENKINS & CO., 26 Caxton Street, London, SW1H 0RJ (GB)
Données relatives à la priorité :
10/248,074 16.12.2002 US
Titre (EN) APPARATUS AND PROCESS FOR MEASURING ULTRAVIOLET (UV) LIGHT INTENSITIES
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE SERVANT A MESURER DES INTENSITES LUMINEUSES
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus and process for measuring light intensities includes the use of a probe. The probe is configured for monitoring a wavelength range from about 180 nanometers to about 270 nanometers (nm). The probe comprises a reflective and diffusive layer (120) adapted for collecting light; a waveguide (130) having one end in optical communication with the reflective and diffusive layer, wherein the waveguide has greater than about 50 percent transmission at wavelengths of about 180 nm to about 270 nm; a sensor probe (150) in optical communication with the other end of the waveguide; and a filter (140) intermediate to the waveguide and the sensor, wherein the filter is adapted to remove wavelengths greater than about 270 nm and has a percent transmission at wavelengths of about 180 nm to about 270 nm greater than about 50 percent.
(FR)Dispositif et procédé servant à mesurer des intensités lumineuses et consistant à utiliser une sonde. Cette sonde est conçue pour contrôler une plage de longueurs d'onde de 180 à 270 nanomètres (nm). Cette sonde comprend une couche de réflexion et de diffusion (120) conçue pour collecter la lumière, un guide d'onde (130) dont une extrémité est en communication optique avec la couche de réflexion de diffusion, ce guide d'onde présentant une capacité de transmission supérieure à 50 % à des longueurs d'onde de 180 nm à 270 nm, une sonde de détection (150) en communication optique avec l'autre extrémité du guide d'onde et un filtre (140) situé en position intermédiaire par rapport au guide d'onde et au détecteur et conçu pour supprimer les longueurs d'onde supérieures à 270 nm, ce filtre possédant un pourcentage de transmission supérieur à 50 %.à des longueurs d'onde situées entre 180 nm et 270 nm
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)