WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2004059177) PROCEDE DE PRODUCTION SANS MASQUE DE STRUCTURES AUTO-ALIGNEES COMPRENANT UN OXYDE METALLIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/059177    N° de la demande internationale :    PCT/IB2003/005692
Date de publication : 15.07.2004 Date de dépôt international : 03.12.2003
CIB :
B81C 1/00 (2006.01)
Déposants : KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Eindhoven (NL) (Tous Sauf US).
VULLERS, Rudolf, J., M. [NL/NL]; (NL) (US Seulement).
FEENSTRA, Bokke, J. [NL/NL]; (NL) (US Seulement)
Inventeurs : VULLERS, Rudolf, J., M.; (NL).
FEENSTRA, Bokke, J.; (NL)
Mandataire : COHEN, Julius, S.; Philips Intellectual Property & Standards, Prof. Holstlaan 6, NL-5656 AA Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
02080573.5 30.12.2002 EP
Titre (EN) METHOD FOR MASKLESS FABRICATION OF SELF-ALIGNED STRUCTURES COMPRISING A METAL OXIDE
(FR) PROCEDE DE PRODUCTION SANS MASQUE DE STRUCTURES AUTO-ALIGNEES COMPRENANT UN OXYDE METALLIQUE
Abrégé : front page image
(EN)The present invention describes a method for fabricating micro-devices comprising aluminumoxide structures without the need for an extra lithographical processing step. So, no extra mask is needed. It appears that under certain circumstances, aluminumoxide walls arise in the etching process, just above sloped walls of underlying metal structures. The fact that the walls of the metal structures are sloped, is essential here. Using the method according to the invention, aluminumoxide structures can be fabricated that are aligned exactly above the sloped walls of the metal structure. These aligned aluminumoxide structures can be used as walls in for example microfluidic channels, electrowetting displays, electrophoretic displays or field emitting displays.
(FR)L'invention concerne un procédé permettant de produire des micro-dispositifs comprenant des structures d'oxyde d'aluminium sans nécessiter d'étape de traitement lithographique additionnelle. Ainsi aucun masque additionnel n'est nécessaire. On a constaté que dans certaines circonstances, des parois d'oxyde d'aluminium se forment juste au dessus des parois inclinées des structures métalliques sous-jacentes lors le processus de gravure. Le fait que les parois des structures métalliques soient inclinées est ici primordial. La mise en oeuvre du procédé décrit permet de fabriquer des structures d'oxyde d'aluminium qui sont alignées précisément au-dessus des parois inclinées de la structure métallique. Ces structures d'oxyde d'aluminium alignées peuvent servir de parois par exemple dans des canaux microfluidiques, des écrans à électromouillage, des écrans électrophorétiques ou des écrans à émission de champ.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)