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1. WO2004057267 - SYSTEME ET PROCEDE D'INSPECTION PAR INTERFEROMETRIE DE LUMIERE BLANCHE

Numéro de publication WO/2004/057267
Date de publication 08.07.2004
N° de la demande internationale PCT/US2003/040513
Date du dépôt international 19.12.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 20.07.2004
CIB
G01B 11/06 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
02pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
06pour mesurer l'épaisseur
G01B 11/24 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24pour mesurer des contours ou des courbes
CPC
G01B 11/0608
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness ; ; e.g. of sheet material
0608Height gauges
G01B 11/2441
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
2441using interferometry
G01B 9/02028
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02015characterised by a particular beam path configuration
02027Two or more interferometric channels or interferometers
02028Two or more reference or object arms in one interferometer
G01B 9/02083
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02083characterised by particular signal processing and presentation
G01B 9/0209
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
0209Non-tomographic low coherence interferometers, e.g. low coherence interferometry, scanning white light interferometry, optical frequency domain interferometry or reflectometry
Déposants
  • SEMICONDUCTOR TECHNOLOGIES & INSTRUMENTS, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • MATHUR, Sanjeev [IN]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • MATHUR, Sanjeev
Mandataires
  • ROURK, Christopher, J.
  • CZAJA, Timothy, A.
Données relatives à la priorité
60/434,92619.12.2002US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTION USING WHITE LIGHT INTERFEROMETRY
(FR) SYSTEME ET PROCEDE D'INSPECTION PAR INTERFEROMETRIE DE LUMIERE BLANCHE
Abrégé
(EN)
A system for inspecting a component is provided. The system includes an interferometer having a coated mirror (120), such as a coating (102) that allows only a fraction of light (108) to pass, where the coating has a predetermined thickness (D). An interference inspection system receives reflected light (108, 110) from the component through the interferometer and determines whether interference is occurring at each of two or more predetermined areas, such as at point corresponding to a bump contact (104) and at a second point corresponding to a substrate (106). The thickness of the coating is related to a height difference between two or more of the predetermined areas (H), such as by creating interference at both areas by changing the reflection path length by an amount required to cause simultaneous interference fringing for a designed height difference.
(FR)
La présente invention concerne un système destiné à inspecter un élément. Ce système comprend un interféromètre possédant un miroir revêtu (120), avec un revêtement 102 qui ne laisse passer qu'une fraction de la lumière (108), ce revêtement possédant une épaisseur D prédéterminée. Un système d'inspection d'interférence reçoit la lumière réfléchie (108, 110) du composant à travers l'interféromètre et détermine si l'interférence survient à chacune des au moins deux régions prédéterminées, telles qu'au niveau d'un point correspondant à une bosse de contact (104) et au niveau d'un second point correspondant à un substrat (106). L'épaisseur du revêtement est relative à une différence de hauteur entre ces au moins deux régions prédéterminées (H), telle que par création d'une interférence au niveau des deux régions par une modification de la longueur du trajet de réflexion d'une quantité requise pour entraîner un effet de bord d'interférence simultanée pour une différence de hauteur désignée.
Également publié en tant que
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