WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2004057052) NACELLE CHAUFFEE PAR UNE RESISTANCE ET SON PROCEDE DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/057052    N° de la demande internationale :    PCT/KR2003/002620
Date de publication : 08.07.2004 Date de dépôt international : 01.12.2003
CIB :
C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/26 (2006.01)
Déposants : RESEARCH INSTITUTE OF INDUSTRIAL SCIENCE & TECHNOLOGY [KR/KR]; San #32, Hyoja-dong, Nam-gu, Pohang-shi, Kyongsangbuk-do 790-330 (KR) (Tous Sauf US).
JEONG, Jae-In [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
LIM, Tae-Gyoon [KR/KR]; (KR) (US Seulement)
Inventeurs : JEONG, Jae-In; (KR).
LIM, Tae-Gyoon; (KR)
Mandataire : HONG, Sung-Chul; #703, New Seoul Bldg., #828-8, Yeoksam-dong, Kangnam-gu, Seoul 135-080 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2002-0082792 23.12.2002 KR
Titre (EN) RESISTANCE-HEATED BOAT AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
(FR) NACELLE CHAUFFEE PAR UNE RESISTANCE ET SON PROCEDE DE FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed herein are a resistance-heated boat and a manufacturing method thereof for use in vacuum vapor deposition of a metal evaporant onto a substrate in a resistance heating manner. The boat comprises a graphite block to be formed into a boat, and a protective barrier formed at the graphite surface for preventing the graphite layer from reacting with the metal evaporant. The protective barrier has an aluminum-rich layer, and a nitrogen containing compound layer. According to the present invention, it is possible to achieve stable and continuous evaporation of metals including aluminum.
(FR)L'invention porte sur une nacelle chauffée par une résistance et sur son procédé de fabrication, cette nacelle étant destinée à être utilisée dans un processus de dépôt par évaporation sous vide d'un métal évaporant sur un substrat, et cela par un système de chauffage par résistance. La nacelle comprend un bloc graphite devant se former dans une nacelle et une barrière protectrice formée au niveau de la surface graphite afin d'empêcher la couche graphite de réagir à l'évaporant métallique. La barrière protectrice comporte une couche riche en aluminium et une couche de composés contenant de l'azote. Selon cette invention, il est possible de réaliser une évaporation stable et continue de métaux, y compris de l'aluminium.
États désignés : CN, DE, GB, JP, US.
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : coréen (KO)