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1. (WO2004055856) OBJECTIF COMPOSE A AXES MULTIPLES, SYSTEME A FAISCEAU METTANT EN OEUVRE CET OBJECTIF COMPOSE, ET PROCEDE DE PRODUCTION DUDIT OBJECTIF COMPOSE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/055856    N° de la demande internationale :    PCT/EP2003/014140
Date de publication : 01.07.2004 Date de dépôt international : 12.12.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.07.2004    
CIB :
H01J 37/145 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
Déposants : ICT, INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FÜR HALBLEITERPRÜFTECHNIK MBH [DE/DE]; Ammerthalstrasse 20a, 85551 Heimstetten (DE) (Tous Sauf US).
FROSIEN, Jürgen [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
ADAMEC, Pavel [CZ/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : FROSIEN, Jürgen; (DE).
ADAMEC, Pavel; (DE)
Mandataire : ZIMMERMANN & PARTNER; P.O. Box 330 920, 80069 Munich (DE)
Données relatives à la priorité :
02 028 345.3 17.12.2002 EP
Titre (EN) MULTI-AXIS COMPOUND LENS, BEAM SYSTEM MAKING USE OF THE COMPOUND LENS, AND METHOD USING THE COMPOUND LENS
(FR) OBJECTIF COMPOSE A AXES MULTIPLES, SYSTEME A FAISCEAU METTANT EN OEUVRE CET OBJECTIF COMPOSE, ET PROCEDE DE PRODUCTION DUDIT OBJECTIF COMPOSE
Abrégé : front page image
(EN)The invention provides an optical system for a charged particle multi-beam system. The optical system comprises an electrostatic lens component and a magnetic lens component. The components are used to focus a plurality of charged particle beams in a separate opening for each of at least a plurality a charged particle beams traveling through the optical system.
(FR)L'invention concerne un système optique destiné à un système à plusieurs faisceaux de particules chargées. Ce système optique comprend un composant lentille électrostatique et un composant lentille magnétique. Les composants sont utilisés pour focaliser une pluralité de faisceaux de particules chargées dans une ouverture séparée pour chaque faisceau de particules chargées faisant partie de la pluralité de faisceaux de particules chargées passant par ledit système optique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)