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1. (WO2004055471) PROCEDE ET DISPOSITIF PERMETTANT DE MESURER L'EPAISSEUR D'UN OBJET TEST ENTRE DEUX TETES DE CAPTEUR DE COURANTS DE FOUCAULT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2004/055471    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/039551
Date de publication : 01.07.2004 Date de dépôt international : 12.12.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    12.07.2004    
CIB :
G01B 7/06 (2006.01), G01N 27/72 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.O. Box 450A, Santa Clara, CA 95052 (US)
Inventeurs : LEI, Lawrence, C.; (US).
LU, Siqing; (US).
CHANG, Yu; (US).
MARTNER, Cecilia; (US).
PHAM, Quyen; (US).
GU, Yu, Ping; (US).
HUSTON, Joel; (US).
SMITH, Paul; (US).
MILLER, G., Laurie; (US)
Mandataire : ALTER, Scott, M.; Hale and Dorr, LLP, 1455 Pennsylvania Avenue, NW, Washington, DC 20004 (US)
Données relatives à la priorité :
60/433,429 13.12.2002 US
10/685,210 14.10.2003 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING THICKNESS OF A TEST OBJECT BETWEEN TWO EDDY CURRENT SENSOR HEADS
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF PERMETTANT DE MESURER L'EPAISSEUR D'UN OBJET TEST ENTRE DEUX TETES DE CAPTEUR DE COURANTS DE FOUCAULT
Abrégé : front page image
(EN)A method and apparatus are provided for measuring the thickness of a test object. The apparatus includes an eddy current sensor having first and second sensor heads. The sensor heads are positioned to have a predetermined gap therebetween for passage by at least a portion of the test object through the gap. The sensor heads make measurements at given sampling locations on the test object as the test object is moved through the gap. The apparatus also includes a position sensing mechanism to determine positions of the sampling locations on the test object. The apparatus also includes an evaluation circuit in communication with the eddy current sensor and to the position sensing mechanism for determining the thickness of the test object at the sampling locations.
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif permettant de mesurer l'épaisseur d'un objet visé. Le dispositif comprend un capteur de courants de Foucault à première et seconde têtes de capteur. Ces têtes sont espacées par un intervalle préétabli, laissant passer entre elles l'objet visé. Elle prennent des mesures sur cet objet en des emplacements d'échantillonnage, à mesure que ledit objet est déplacé dans l'intervalle. Le dispositif comprend aussi un détecteur de position qui détermine les positions des emplacements d'échantillonnage sur l'objet en question. Enfin, le dispositif comprend un circuit d'évaluation qui communique avec le capteur de courants de Foucault et le détecteur de position afin de déterminer l'épaisseur de l'objet visé aux emplacement d'échantillonnage.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)