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1. (WO2004054352) OBJECTIF COMPOSE A AXES MULTIPLES, SYSTEME A FAISCEAU METTANT EN OEUVRE CET OBJECTIF COMPOSE, ET PROCEDE DE PRODUCTION DUDIT OBJECTIF COMPOSE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2004/054352 N° de la demande internationale : PCT/EP2003/014141
Date de publication : 01.07.2004 Date de dépôt international : 12.12.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 16.07.2004
CIB :
H01J 37/141 (2006.01)
Déposants : LANIO, Stefan[DE/DE]; DE (UsOnly)
ICT, INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FÜR HALBLEITERPRÜFTECHNIK MBH[DE/DE]; Ammerthalstrasse 20a 85551 Heimstetten, DE (AllExceptUS)
Inventeurs : LANIO, Stefan; DE
Mandataire : ZIMMERMANN, Gerd ; Zimmermann & Partner P.O.Box 330 920 80069 Munich, DE
Données relatives à la priorité :
02028346.117.12.2002EP
Titre (EN) MULTI-AXIS LENS, BEAM SYSTEM MAKING USE OF THE COMPOUND LENS, AND METHOD OF MANUFACTURING THE COMPOUND LENS
(FR) OBJECTIF COMPOSE A AXES MULTIPLES, SYSTEME A FAISCEAU METTANT EN OEUVRE CET OBJECTIF COMPOSE, ET PROCEDE DE PRODUCTION DUDIT OBJECTIF COMPOSE
Abrégé : front page image
(EN) The invention provides a lens system for a plurality of charged particle beams. Therein, at least one common excitation coil for at least two lens modules is provided. The lens modules comprise a first pole piece, a second pole piece and at least one opening for a charged particle beam. The lens modules constitute a component and share the excitation coil. Thereby, raw material availability, processing of work pieces and symmetry conditions for the lens fields are improved.
(FR) L'invention concerne un système de lentilles destiné à une pluralité de faisceaux de particules chargées. Ce système comprend au moins une bobine d'excitation commune pour au moins deux modules lentilles. Les modules lentilles comprennent une première pièce polaire, une deuxième pièce polaire et au moins une ouverture destinée à un faisceau de particules chargées. Lesdits modules lentilles constituent un composant et partagent la bobine d'excitation. De cette manière, la disponibilité de matière première, le traitement de pièces à usiner et les conditions de symétrie pour les champs d'objectif sont améliorés.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)