(DE) Die Erfindung betrifft ein Beleuchtungssystem für Wellenlängen ≤ 193 nm, wobei das Beleuchtungssystem eine Lichtquelle umfasst, die in einer Ebene eine vorbestimmte Ausleuchtung zur Verfügung stellt und a) eine erste optische Komponente mit ersten Rasterelementen, wobei die ersten Rasterelemente auf einem Trägerelement angeordnet sind und die erste optische Komponente in oder nahe der Ebene, in der die Ausleuchtung zur Verfügung gestellt wird, angeordnet ist. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass i) auf dem Trägerelement der ersten optischen Komponente mindestens ein Sensor zur Detektion von auf das Trägerelement auftreffendem Licht angeordnet ist. ii) Spiegel des Beleuchtungssystems durch Auswertung der Sensorsignale so gestellt werden, dass die Lage und Stärke der Beleuctung konstant gehalten werden.
(EN) The invention relates to an illumination system for wavelengths ≤ 193 nm, comprising a light source, which provides predetermined illumination on one plane and a first optical component with first grid elements, which are arranged on a support element, said first optical component being located on or in close proximity to the plane, on which the illumination is provided. The invention is characterised in that at least one sensor for detecting the light that strikes the support element is positioned on said support element of the first optical component and that mirrors of the illumination system are set by the evaluation of the sensor signals, in such a way that the position and intensity of the illumination remain constant.
(FR) Système d'éclairage pour une longueur d'onde ≤ à 193 nm, comportant une source de lumière qui fournit dans un plan un éclairage prédéterminé, et un premier composant optique doté de premiers éléments grilles, les premiers éléments grilles étant placés sur un élément de support et le premier composant optique se trouvant dans le plan dans lequel est fourni l'éclairage, ou à proximité de ce plan. La présente invention est caractérisée en ce qu'au moins un capteur destiné à la détection de la lumière incidente sur l'élément de support est placé sur ledit élément de support du premier élément, et en ce que des miroirs du système d'éclairage sont réglés, à l'aide de l'évaluation des signaux de capteur, de manière telle que la position et l'intensité de l'éclairage sont maintenues constantes.