(DE) In einer Vorrichtung zur Positionierung eines optischen Elementes (21) in einer Struktur, insbesondere in einem Objektivgehäuse eines Projektionsobjektives (1) für die Mikrolithographie, ist das optische Element (21) über Anbindungselemente (22) mit der Struktur verbunden. Die Position des optischen Elementes (21) wird durch Verstellanbindungen (23) eingestellt. Die Anbindungselemente (22) sind derart angeordnet und die Verstellanbindungen (23) derart betätigbar, dass das optische Element (21) in drei voneinander unabhängige Achsen (x-, y-, z-Achse) kippbar und zusätzlich in eine Achsrichtung (z-Achse) translatorisch verschiebbar ist.
(EN) The invention relates to a device for positioning an optical element (21) in a structure, in particular in a lens housing of a projection lens (1) for microlithography. According to the invention, the optical element (21) is connected to the structure by means of linking elements (22). The position of the optical element (21) is adjusted by adjustment links (23). The linking elements (22) are arranged and the adjustment links (23) actuated in such a way that the optical element (21) can be tilted on three independent axes (x-, y-, z-axis) and can be displaced in a translational manner along one axis (z-axis).
(FR) Dans un dispositif de positionnement d'un élément optique (21) dans une structure, notamment dans un boîtier d'un objectif de projection (1) destiné à la microlithographie, un élément optique (21) est relié à la structure par des éléments de liaison (22). La position de l'élément optique (21) est réglé par des liaisons de réglage (23). Les éléments de liaison (22) sont disposés et les liaisons de réglage (23) sont actionnables de telle façon que l'élément optique (21) puisse basculer dans trois axes indépendants les uns des autres (axe x, axe y, axe z) et en plus se déplacer en translation dans une direction d'axe (axe z).
