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1. (WO2003090260) APPAREIL DE DEPOT DE REVETEMENT MULTICOUCHES SUR DES FEUILLES DISTINCTES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/090260    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/011480
Date de publication : 30.10.2003 Date de dépôt international : 14.04.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    12.11.2003    
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : VITEX SYSTEMS, INC. [US/US]; 3047 Orchard Parkway, San Jose, CA 95134 (US)
Inventeurs : PAGANO, John, Chris; (US).
NELSON, Kenneth, Jeffrey; (US).
BURROWS, Paul, E.; (US).
GROSS, Mark, Edward; (US).
ZUMHOFF, Mac, R.; (US).
MARTIN, Peter, Maclyn; (US).
BONHAM, Charles, C.; (US).
GRAFF, Gordon, Lee; (US)
Mandataire : REED, John, D.; Killworth, Gottman, Hagan, & Schaeff, L.L.P., One Dayton Centre, Suite 500, One South Main Street, Dayton, OH 45402-2023 (US)
Données relatives à la priorité :
60/372,559 15.04.2002 US
10/412,133 11.04.2003 US
Titre (EN) APPARATUS FOR DEPOSITING A MULTILAYER COATING ON DISCRETE SHEETS
(FR) APPAREIL DE DEPOT DE REVETEMENT MULTICOUCHES SUR DES FEUILLES DISTINCTES
Abrégé : front page image
(EN)A tool for depositing multilayer coatings onto a substrate. The tool includes a housing defining a vacuum chamber connected to a vacuum source, deposition stations each configured to deposit a layer of multilayer coating on the substrate, a curing station, and a contamination reduction device. At least one of the deposition stations is configured to deposit an inorganic layer, while at least one other deposition station is configured to deposit an organic layer. In one tool configuration, the substrate may travel back and forth through the tool as many times as needed to achieve the desired number of layers of multilayer coating. In another, the tool may include numerous housings adjacently spaced such that the substrate may make a single unidirectional pass. The contamination reduction device may be configured as one or more migration control chambers about at least one of the deposition stations, and further includes cooling devices, such as chillers, to reduce the presence of vaporous layer precursors. The tool is particularly well-suited to depositing multilayer coatings onto flexible substrates, as well as to encapsulating environmentally-sensitive devices placed on the flexible substrate.
(FR)L'invention concerne un outil permettant de déposer des revêtements multicouches sur un substrat. Cet outil comprend: un logement définissant une chambre à vide reliée à une source de vide; des stations de dépôt, chacune étant conçue pour déposer une couche de revêtement multicouches sur le substrat; une station de durcissement; et un dispositif de réduction de contamination. Au moins une des stations de dépôt est conçue pour déposer une couche inorganique, au moins une autre des stations de dépôt étant conçue pour déposer une couche organique. Dans une configuration de l'outil, le substrat peut être déplacé en avant et en arrière au moyen de l'outil autant que nécessaire afin d'obtenir le nombre désiré de couches de revêtement multicouches. Dans une autre configuration, ledit outil peut comprendre de nombreux logements espacés de manière adjacente de sorte que le substrat puisse effectuer un passage unidirectionnel unique. Ledit dispositif de réduction de contamination peut être configuré comme une ou plusieurs chambres de commande de migration autour d'au moins une des stations de dépôt, et comprend en outre des dispositifs de refroidissement, de type refroidisseurs, destinés à réduire la présence de précurseurs de couche à l'état de vapeur. Ledit outil est particulièrement approprié au dépôt de revêtements multicouches sur des substrats flexibles, ainsi qu'à l'encapsulation de dispositifs sensibles à l'environnement placés sur les substrats flexibles.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)