WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2003090257) PROCEDE DE PRODUCTION DE COUCHES MINCES CONTENANT DU METAL PRESENTANT UNE FAIBLE RESISTANCE ELECTRIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/090257    N° de la demande internationale :    PCT/DE2003/001205
Date de publication : 30.10.2003 Date de dépôt international : 10.04.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    24.10.2003    
CIB :
H01L 21/768 (2006.01)
Déposants : INFINEON TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; St. Martin-Strasse 53, 81669 München (DE) (Tous Sauf US).
BARTH, Hans-Joachim [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
TEWS, Helmut [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : BARTH, Hans-Joachim; (DE).
TEWS, Helmut; (DE)
Mandataire : KARL, Frank; Patentanwälte Kindermann, Postfach 1330, 85627 Grasbrunn (DE)
Données relatives à la priorité :
102 17 876.3 22.04.2002 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DÜNNER METALLHALTIGER SCHICHTEN MIT GERINGEM ELEKTRISCHEN WIDERSTAND
(EN) METHOD FOR THE PRODUCTION OF THIN METAL-CONTAINING LAYERS HAVING LOW ELECTRICAL RESISTANCE
(FR) PROCEDE DE PRODUCTION DE COUCHES MINCES CONTENANT DU METAL PRESENTANT UNE FAIBLE RESISTANCE ELECTRIQUE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung dünner metallhaltiger Schichten (5C) mit geringem elektrischen Widerstand, wobei zunächst eine metallhaltige Ausgangsschicht (5A) mit einer ersten Korngrösse auf einem Trägermaterial (2) ausgebildet wird. Nachfolgend wird ein lokal begrenzter Wärmebereich (W) in der metallhaltigen Ausgangsschicht (5A) derart erzeugt und bewegt, dass eine Rekristallisation der metallhaltigen Ausgangsschicht (5A) zum Erzeugen der metallhaltigen Schicht (5C) mit einer zur ersten Korngrösse vergrösserten zweiten Korngrösse durchgeführt wird. Auf diese Weise erhält man eine metallhaltige Schicht mit verbesserten elektrischen Eigenschaften.
(EN)The invention relates to a method for producing thin metal-containing layers (5C) having low electrical resistance, according to which a metal-containing initial layer (5A) having a first grain size is configured on a carrier material (2) in a first step. A locally restricted heated area (W) is then created and moved within the metal-containing initial layer (5A) in such a way that the metal-containing initial layer (5A) is recrystallized so as to create the metal-containing layer (5C) having a second grain size which is enlarged to the first grain size, whereby a metal-containing layer having improved electrical properties is obtained.
(FR)L'invention concerne un procédé de production de couches minces contenant du métal (5C), ces couches présentant une faible résistance électrique. Ce procédé consiste à former sur une matière support (2) une couche de départ contenant du métal (5A) présentant une première grosseur de grain, puis à produire et à déplacer dans la couche de départ contenant du métal (5A) une zone thermique localisée (W) de façon à entraîner une recristallisation de ladite couche de départ pour obtenir une couche contenant du métal (5C) présentant une seconde grosseur de grain supérieure à la première. Ce procédé permet d'obtenir une couche contenant du métal présentant des propriétés électriques améliorées.
États désignés : CN, JP, KR, SG, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)