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1. (WO2003088321) DISPOSITIF ET PROCEDE POUR POSITIONNER UN SUBSTRAT SOUS FORME DE PLAQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/088321    N° de la demande internationale :    PCT/DE2003/001063
Date de publication : 23.10.2003 Date de dépôt international : 01.04.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    28.10.2003    
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2, 80333 München (DE) (Tous Sauf US).
EISINGER, Dirk [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
ZOLLER, Marc [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : EISINGER, Dirk; (DE).
ZOLLER, Marc; (DE)
Représentant
commun :
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT; Postfach 22 16 34, 80506 München (DE)
Données relatives à la priorité :
102 16 284.0 12.04.2002 DE
Titre (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM POSITIONIEREN EINES PLATTENFÖRMIGEN SUBSTRATES
(EN) DEVICE AND METHOD FOR POSITIONING A PLATE-TYPE SUBSTRATE
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE POUR POSITIONNER UN SUBSTRAT SOUS FORME DE PLAQUE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung schafft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Positionieren eines Substrates (101) auf einer ein Transportband (302) aufweisenden Transportstrecke (100). Erfindungsgemäß wird die Position des transportierten Substrates (101) bestimmt, indem die in Transportrichtung (102) gesehene vorderste Kante des Substrates (101) mittels einer Lichtschranke erfasst wird. Der Erfassungsbereich (105) der Lichtschranke erstreckt sich bis unterhalb des Auflageniveaus (701) des Substrates (101) auf dem Transportband (302). Somit wird die Substratvorderkante auch dann erfasst, wenn sich diese beispielweise infolge eines Durchbiegens unterhalb des Auflageniveaus (701) befindet. Das Transportband (302) wird in einer Schleife um den Erfassungsbereich (105) der Lichtschranke herumgeführt, so dass sich der Erfassungsbereich (105) der Lichtschranke quer über die gesamte Transportstrecke (100) verlaufen kann. Gemäß einer Weiterbildung wird zusätzlich ein Sensorelement (106) verwendet, welcher relativ zu der Lichtschranke stromaufwärts an der Transportstrecke (100) angebracht ist und mittels welchem ebenfalls die Vorderkante des zu positionierenden Substrates (101) erfassbar ist. Auf diese Weise kann ein besonders schonendes Abbremsen des entlang der Transportstrecke (100) bewegten Substrates (101) erreicht werden.
(EN)The invention relates to a device and a method for positioning a substrate (101) on a transport section (100) that comprises a conveyer belt (302). According to the invention, the position of the transported substrate (101) is determined by means of a photoelectric barrier, which detects the front edge of the substrate (101), viewed from the direction of transport (102). The detection area (105) of the photoelectric barrier extends to just under the bearing level (701) of the substrate (101) on the conveyer belt (302). This allows the front edge of the substrate to be detected even if the latter lies below the bearing level (701), for example as a result of flexure. The conveyer belt (302) is guided in a loop around the detection area (105) of the photoelectric barrier, in such a way that said detection area (105) can extend transversally over the entire transport section (100). The invention is characterised in that it also uses a sensor element (106), which is mounted on the transport section (100) upstream of the photoelectric barrier and is likewise used to detect the front edge of the substrate (101) to be positioned. This permits a particularly gentle deceleration of the substrate (101) that is displaced along the transport section (100).
(FR)La présente invention concerne un dispositif et un procédé pour positionner un substrat (101) sur une voie de transport (100) présentant une bande transporteuse (302). Selon cette invention, la position du substrat (101) à transporter est déterminée par détection du bord du substrat (101) à l'avant dans la direction de transport (102) au moyen d'une barrière lumineuse. Le domaine de détection (105) de la barrière lumineuse s'étend jusqu'en-dessous du niveau de support (701) du substrat (101) sur la bande transporteuse (302). Le bord avant du substrat est détecté lorsqu'il se trouve par exemple en-dessous du niveau de support (701) en raison d'une flexion. La bande transporteuse (302) est guidée en boucle autour du domaine de détection (105) de la barrière lumineuse, de façon que le domaine de détection (105) de la barrière lumineuse puisse s'étendre perpendiculairement sur toute la voie de transport (100). Le dispositif peut également mettre en oeuvre un élément de détection (106) qui est appliqué en amont de la barrière lumineuse sur la voie de transport (100) et qui permet également de détecter le bord avant du substrat (101) à positionner. On obtient ainsi un ralentissement particulièrement doux du substrat (101) en mouvement le long de la voie de transport (100).
États désignés : CN, JP, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)