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1. (WO2003088314) SYSTEME DE SURVEILLANCE ELOIGNEE POUR LIQUIDE CHIMIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/088314    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/010874
Date de publication : 23.10.2003 Date de dépôt international : 09.04.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    10.11.2003    
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : ARCH SPECIALTY CHEMICALS, INC. [US/US]; 501 Merritt 7, P.O.Box 5204, Norwalk, CT 06856-5204 (US)
Inventeurs : BLATT, Christopher; (US).
NAYFAH, Mustafa; (US).
WOLFE, Dan; (US).
CLEEMPUT, Marc, Van; (BE).
TEFF, Daniel, Joseph; (US)
Mandataire : GREELEY, Paul, D.; Ohlandt, Greeley, Ruggiero & Perle, L.L.P., 1 Landmark Square, 10th Floor, Stamford, CT 06901 (US)
Données relatives à la priorité :
60/372,330 12.04.2002 US
Titre (EN) REMOTE MONITORING SYSTEM FOR CHEMICAL LIQUID DELIVERY
(FR) SYSTEME DE SURVEILLANCE ELOIGNEE POUR LIQUIDE CHIMIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A system and method for remote monitoring one or more liquid chemical delivery systems and tools associated with semiconductor fabrication includes a computer interface (12) linkiong a delivery system (14) and tool (16) to a computer (20). Sensors (22, 24) provide information such as temperature, pressure, liquid level, leakage and the presence of spills.
(FR)L'invention concerne un système et un procédé permettant de surveiller à distance un ou plusieurs systèmes de distribution de substance chimique et/ou des outils associés à la fabrication et/ou à la manufacture de composants électroniques/semi-conducteurs. Un tel système et un tel procédé permettent à l'opérateur d'effectuer rapidement et précisément la vérification de l'état de chaque système de distribution et de chaque outil par rapport à l'état des liquides, à des alarmes, à des situations problématiques, et à d'autres indications, à partir d'un emplacement pratique.
États désignés : JP, KR, SG.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)