WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2003085659) PROCEDE DE DISTRIBUTION DE SUBSTRATS DANS UN DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM POUR LA FORMATION DE SUBSTRATS EN FORME DE DISQUE, MECANISME DE DISTRIBUTION DE SUBSTRAT ET MASQUE UTILISES DANS CE PROCEDE ET PROCEDE DE PRODUCTION DE SUPPORT D'ENREGISTREMENT EN FORME DE DISQUE AU MOYEN DE CE PROCEDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/085659    N° de la demande internationale :    PCT/JP2003/004168
Date de publication : 16.10.2003 Date de dépôt international : 01.04.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    30.10.2003    
CIB :
C23C 14/04 (2006.01), C23C 14/50 (2006.01), G11B 7/26 (2006.01)
Déposants : TDK CORPORATION [JP/JP]; 1-13-1, Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo 103-8272 (JP)
Inventeurs : KOSHIKAWA, Masato; (JP).
ISHIZAKI, Hideki; (JP).
MATSUI, Satoshi; (JP)
Mandataire : OKABE, Masao; No. 602, Fuji Bldg., 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-0005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2002-102034 04.04.2002 JP
Titre (EN) METHOD OF DELIVERING SUBSTRATES TO A FILM FORMING DEVICE FOR DISK-LIKE SUBSTRATES, SUBSTRATE DELIVERING MECHANISM AND MASK USED IN SUCH METHOD, AND DISK-LIKE RECORDING MEDIUM PRODUCING METHOD USING SUCH METHOD
(FR) PROCEDE DE DISTRIBUTION DE SUBSTRATS DANS UN DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM POUR LA FORMATION DE SUBSTRATS EN FORME DE DISQUE, MECANISME DE DISTRIBUTION DE SUBSTRAT ET MASQUE UTILISES DANS CE PROCEDE ET PROCEDE DE PRODUCTION DE SUPPORT D'ENREGISTREMENT EN FORME DE DISQUE AU MOYEN DE CE PROCEDE
Abrégé : front page image
(EN)A substrate delivering method comprising the steps of holding a center-hole-less disk-like substrate or the like in the atmosphere, and easily transferring it to a sputtering device. A projection is formed in the central region of each surface of the disk-like substrate, and the substrate is integrated with a mask by the substrate fixing means and conveyed, etc. Further, in the delivering mechanism, the substrate and mask are held by magnetically holding the mask and gripping the projection on the substrate front surface by a substrate holding means. In the substrate holder to which the substrate is delivered, the magnetic holding of the mask and the gripping of the projection on the substrate back surface are simultaneously effected, and at the time of delivery, the reduction of the magnetic force in the delivering mechanism and the release of the gripping are substantially simultaneously effected.
(FR)L'invention concerne un procédé de distribution de substrat consistant à maintenir un substrat en forme de disque sans trou central, ou analogue, dans l'atmosphère, et à le transférer facilement dans un dispositif de pulvérisation cathodique. Une projection est formée dans la région centrale de chaque surface du substrat en forme de disque, et le substrat est intégré avec un masque par les moyens de fixation du substrat, puis convoyé, et ainsi de suite. En outre, dans le mécanisme de distribution, le substrat et le masque sont maintenus par maintien magnétique du masque et saisie de la projection sur la surface frontale du substrat grâce à des moyens de maintien de substrat. Dans l'unité de maintien sur laquelle est distribué le substrat, le maintien magnétique du masque et la saisie de la projection sur la surface arrière du substrat sont réalisés simultanément, et au moment de la distribution, la réduction de la force magnétique dans le mécanisme de distribution et le relâchement de la saisie sont réalisés sensiblement simultanément.
États désignés : CN, KR.
Office européen des brevets (OEB) (CH, DE).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)