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1. (WO2003085504) PROCEDE D'INTERACTION AVEC APPAREIL DE COMMANDE ET STATUT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/085504    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/008022
Date de publication : 16.10.2003 Date de dépôt international : 18.03.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    24.10.2003    
CIB :
G06F 3/00 (2006.01), G06F 3/14 (2006.01), G06F 9/44 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; TBS Broadcast Center, 3-6, Akasaka 5-Chome, Minato-ku, Tokyo 107 (JP) (Tous Sauf US).
FUNK, Merritt [US/US]; (US) (US Seulement).
CHEN, Wei [CN/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : FUNK, Merritt; (US).
CHEN, Wei; (US)
Mandataire : LAZAR, Dale, S.; Pillsbury Winthrop LLP, 1600 Tysons Boulevard, McLean, Virginia 22102 (US)
Données relatives à la priorité :
60/368,162 29.03.2002 US
Titre (EN) GRAPHICAL USER INTERFACE (GUI) FOR A SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEM
(FR) PROCEDE D'INTERACTION AVEC APPAREIL DE COMMANDE ET STATUT
Abrégé : front page image
(EN)A GUI is presented for managing a semiconductor processing system that is comprehensible and standardized in format. The graphical display is organized so that all significant parameters are clearly and logically displayed so that the user is able to perform the desired data collection, monitoring, modeling, and troubleshooting tasks with as little input as possible. The GUI is web-based and is viewable by a user using a web browser. The GUI allows a user to display real-time tool and process module statuses based upon process module events and alarm messages, historical data numerically and/or graphically, SPC charts, APC system logs, and Alarm logs. In addition, the GUI allows a user to print graphs and reports, to save data to files, to export data, to import data, and set up or modify the system.
(FR)Un GUI est présenté pour la gestion d'un système de traitement à semi-conducteur qui est exhaustif et dont le format est normalisé. L'afficheur graphique est organisé de manière que tous les paramètres significatifs soient clairement et logiquement affichés de manière que l'utilisateur puisse exécuter les tâches de collecte de données souhaitées, de surveillance, de modélisation et de dépannage avec le moins de manipulation possible. Le GUI utilise la Toile et peut être visionné par un utilisateur utilisant un navigateur Web. Le GUI permet à un utilisateur d'afficher les statuts d'un module de traitement et d'un outil en temps réel d'après les événements du module de traitement et des messages d'alarme, des données historiques numériquement et/ou graphiquement, des graphiques SPC, des SYSLOG APC et des logarithmes d'alarme. Le GUI permet, en outre, à un utilisateur d'imprimer des graphiques et des rapports afin d'enregistrer des données dans des fichiers, afin d'exporter des données, d'importer des données et de définir ou de modifier le système.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)