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1. (WO2003085457) TETE D'EXPOSITION, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET UTILISATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/085457    N° de la demande internationale :    PCT/JP2003/004500
Date de publication : 16.10.2003 Date de dépôt international : 09.04.2003
CIB :
B29C 67/00 (2006.01), B41J 2/447 (2006.01), B41J 2/465 (2006.01), B41J 2/47 (2006.01), G02B 26/08 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H04N 1/12 (2006.01), H04N 1/191 (2006.01)
Déposants : FUJI PHOTO FILM CO., LTD. [JP/JP]; 210, Nakanuma Minami-Ashigara-shi, Kanagawa 250-0123 (JP).
FUJI PHOTO OPTICAL CO., LTD. [JP/JP]; 1-324, Uetake-cho Kita-ku, Saitama-shi, Saitama 331-9624 (JP)
Inventeurs : ISHIKAWA, Hiromi; (JP).
NAGANO, Kazuhiko; (JP).
OKAZAKI, Yoji; (JP).
FUJII, Takeshi; (JP).
YAMAKAWA, Hiromitsu; (JP)
Mandataire : NAKAJIMA, Jun; TAIYO, NAKAJIMA & KATO Seventh Floor, HK-Shinjuku Bldg., 3-17, Shinjuku 4-chome Shinjuku-ku, Tokyo 160-0022 (JP)
Données relatives à la priorité :
2002-108554 10.04.2002 JP
2002-149884 23.05.2002 JP
2002-149885 23.05.2002 JP
2002-149886 23.05.2002 JP
2002-199091 08.07.2002 JP
2002-199092 08.07.2002 JP
Titre (EN) EXPOSURE HEAD, EXPOSURE APPARATUS, AND ITS APPLICATION
(FR) TETE D'EXPOSITION, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET UTILISATION
Abrégé : front page image
(EN)An exposure head and exposure apparatus for controlling pixel portions fewer than all the pixel portions arrayed on a substrate by a control signal generated according to exposure information with respect to a spatial modulating device. The controlled pixel portions become less because all the pixel portions arrayed on the substrate are not controlled, and therefore the transfer rate of the control signal is short. Thus, the modulation speed of a laser beam can be increased thereby to achieve high-speed exposure. As the laser device, a fiber-array light source including multiplexed laser light source where laser beams are multiplexed and inputted into optical fibers is used. As a result high luminance and high output are achieved. Especially it is effective in a semiconductor laser. The number of optical fibers arrayed can be small, resulting in low cost and small emission area when arrayed. The exposure apparatus can be variously applied to, for example, a laser lithograph a laser lithograph.
(FR)Cette invention a trait à une tête d'exposition ainsi qu'à un dispositif d'exposition, destinés à agir sur moins d'éléments de pixels que tous les éléments de pixels disposés en rangées sur un substrat et ce, au moyen d'un signal de commande produit en fonction d'une information relative à une exposition, relativement à un dispositif de modulation spatiale. Il y a moins d'éléments de pixels commandés, dans la mesure où tous les éléments de pixels disposés en rangées sur un substrat ne sont pas commandés et que, partant, le débit de transfert du signal de commande est faible. Il est donc possible d'accélérer la vitesse de modulation d'un faisceau laser pour obtenir une exposition à grande vitesse. On utilise, avec le dispositif laser, une source lumineuse à réseaux de fibres, comprenant une source lumineuse laser multiplexée, les faisceaux laser étant multiplexés et injectés dans les fibres. On obtient, de la sorte une forte luminosité et une bonne sortie. Cette façon de procéder est efficace avec un laser à semi-conducteurs. Il peut n'y avoir qu'un petit nombre de fibres optiques en réseau, ce qui abaisse les coûts et ne forme qu'une petite zone d'émission au moment de la mise en réseau. Ce dispositif d'exposition peut avoir diverses applications, notamment la lithographie laser.
États désignés : CN, IL, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)