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1. (WO2003085383) NETTOYAGE DE SURFACE ET COMPTAGE DES PARTICULES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/085383    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/010564
Date de publication : 16.10.2003 Date de dépôt international : 01.04.2002
CIB :
G01N 1/02 (2006.01), G01N 15/02 (2006.01), G01N 15/06 (2006.01), G01N 15/14 (2006.01), G01N 21/88 (2006.01)
Déposants : CONVEY TECHNOLOGY INCORPORATED [US/US]; 2 Campbell Drive, Somers, NY 10589-2428 (US) (Tous Sauf US).
BATCHELDER, John, samuel [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : BATCHELDER, John, samuel; (US)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SURFACE CLEANING AND PARTICLE COUNTING
(FR) NETTOYAGE DE SURFACE ET COMPTAGE DES PARTICULES
Abrégé : front page image
(EN)A method and an apparatus for detecting removable particulates initially on a test surface or surface to be inspected. The removable particles are transferred to a portion of a tacky surface (130) on a carrier (406) by adhering and then removing the portion of the tacky surface (130) from the test surface. The carrier (406) is received by a positioning means (131) and passed through the field of view of a surface inspection means guided by a controller (170). Signals from the surface inspection means are combined with coordinates from the controller (170) to produce particle coordinates (511), which indicate particulates initially on the test surface. Particle coordinates (511) on the tacky surface (130) measured before the tacky surface (130) is adhered and removed from the test surface (512) can be compared with particle coordinates (511) measured after the tacky surface (130) is adhered and removed from the test surface (512). Several test surfaces (512, 513, 514) can be sequentially inspected using the same carrier (406) by storing particle coordinates (511) after each measurement and comparing the most recent measurement with the cumulative previous measurements. The tacky surface (130) and the associated particle coordinates (511) can be conveyed to other analytical instruments for subsequent analysis.
(FR)La présente invention concerne un procédé et un appareil qui permettent de détecter des particules séparables qui se trouve au départ sur une surface d'essai ou sur une surface devant être inspectée. Les particules séparables sont transférées sur une partie d'une surface collante (130) située sur un support (406), où elles sont collées, puis on enlève la partie de la surface collante (130) de la surface d'essai. Le support (406) est reçu par un moyen de positionnement (131) et envoyé dans le champ de vision d'un moyen d'inspection de surface guidé par une unité de commande (170). Les signaux sortant du moyen d'inspection de la surface sont combinés avec des coordonnées provenant de l'unité de commande (170) pour produire des coordonnées (511) de particule qui indiquent les particules se trouvant au départ sur la surface d'essai. Les coordonnées (511) des particules situées sur la surface collante (130) mesurées avant le collage de la surface collante (130) sur la surface de test (512) et son enlèvement, peuvent être comparées aux coordonnées (511) des particules mesurées après le collage de la surface collante (130) sur la surface d'essai (512) et son enlèvement de cette dernière (512). Plusieurs surfaces d'essai (512, 513, 514) peuvent être séquentiellement inspectées à l'aide du même support (406) lorsqu'on stocke les coordonnées (511) des particules après chaque mesure et qu'on compare la mesure la plus récente aux mesures précédentes cumulées. La surface collante (130) et les coordonnées (511) de particule associées peuvent être envoyées à d'autres instruments d'analyse pour être soumises à d'autres analyses.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)