WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2003085172) PROCEDE DE GRAVURE DE MATERIAU MAGNETIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/085172    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/009940
Date de publication : 16.10.2003 Date de dépôt international : 31.03.2003
CIB :
C23F 4/00 (2006.01), G11B 5/64 (2006.01), G11B 5/855 (2006.01), H01F 41/30 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventeurs : YING, Chentsau; (US).
CHEN, Xiaoyi; (US).
JAIN, Mohit; (US).
KUMAR, Ajay; (US)
Mandataire : PATTERSON, Todd, B.; Moser, Patterson & Sheridan, L.L.P., 3040 Post Oak Boulevard, Suite 1500, Houston, TX 77056 (US)
Données relatives à la priorité :
60/369,782 03.04.2002 US
10/394,463 21.03.2003 US
Titre (EN) METHOD OF ETCHING A MAGNETIC MATERIAL AND FOR FABRICATING A MRAM DEVICE
(FR) PROCEDE DE GRAVURE DE MATERIAU MAGNETIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A method of etching a magnetic material (e.g., nickel-iron alloy (NiFe), cobalt-iron alloy (CoFe), and the like) using a gas mixture comprising a hydrogen halide gas and a fluorocarbon-containing gas is disclosed. The method provides high etch selectivity for the magnetic materials over non-magnetic dielectric materials, such as aluminum oxide (Al2O3) and the like, as well as to photoresist.
(FR)L'invention concerne un procédé de gravure de matériau magnétique (par exemple un alliage fer-nickel (NiFe), cobalt-fer (CoFe), et analogue) au moyen d'un mélange de gaz comprenant un gaz d'halogénure d'hydrogène et un gaz contenant un fluorocarbone. Le procédé permet d'obtenir une sélectivité élevée de gravure concernant des matériaux magnétiques sur des matériaux diélectriques non magnétiques tels que l'oxyde d'aluminium (Al2O3) et analogue, ainsi que sur des photorésines.
États désignés : JP, KR.
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)