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1. (WO2003083933) DISPOSITIF DE TRAITEMENT D'UN ELEMENT A TRAITER ET PROCEDE DE TRAITEMENT ASSOCIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/083933    N° de la demande internationale :    PCT/JP2003/003648
Date de publication : 09.10.2003 Date de dépôt international : 25.03.2003
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (Tous Sauf US).
ONO, Katsuhiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : ONO, Katsuhiko; (JP)
Mandataire : YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office, Room 323, Fuji Bldg., 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-0005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2002-94092 29.03.2002 JP
Titre (EN) TREATING DEVICE FOR ELEMENT TO BE TREATED AND TREATING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT D'UN ELEMENT A TRAITER ET PROCEDE DE TRAITEMENT ASSOCIE
Abrégé : front page image
(EN)An element to be treated (W) is attracted by an electrostatic chuck (36) onto a mounting table (34) in a treating container (4). When the element to be treated (W) is released by lifting it up by a lifter pin (58) after a destaticizing voltage is applied to the electrostatic chuck (36), whether or not the element (W) jumps up on the mounting table (34) is detected by a jump-up detector. The jump-up detector comprises a discharge detection section (76) for detecting at least one of the discharge current or the discharge voltage generated between the element (W) and the mounting table (34) when the element (W) is to be released, and a judging section (78) for judging the occurrence of the jump-up of the element (W) based on the detection result by the detection section.
(FR)Selon l'invention, un élément à traiter (w) est tiré par un mandrin électrostatique (36) sur une table de montage (34) d'un récipient de traitement (4). Pour libérer l'élément à traiter (W), on le soulève au moyen d'une broche de levage (58) après avoir appliqué une tension éliminant l'électricité statique sur le mandrin électrostatique (36). Une fois l'élément à traiter (W) libéré, un détecteur de saut permet de savoir si l'élément (W) a sauté sur la table de montage (34). Ce détecteur de saut comprend une partie de détection de décharge (76) qui permet de détecter le courant de décharge et/ou la tension de décharge entre l'élément (W) et la table de montage (34) lorsque l'élément (w) doit être libéré et une partie de détermination (78) qui permet déterminer que le saut de l'élément (W) s'est produit, sur base du résultat de détection obtenu par la partie de détection.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)