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1. (WO2003083837) TETE MAGNETIQUE A COUCHE MINCE ET PROCEDE DE PRODUCTION DE CETTE DERNIERE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/083837    N° de la demande internationale :    PCT/JP2002/003279
Date de publication : 09.10.2003 Date de dépôt international : 01.04.2002
CIB :
G11B 5/31 (2006.01), G11B 5/39 (2006.01)
Déposants : FUJITSU LIMITED [JP/JP]; 1-1, Kamikodanaka 4-chome, Nakahara-ku, Kawasaki, Kanagawa 211-8588 (JP) (Tous Sauf US).
FUJITA, Mutsumi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ITO, Takashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : FUJITA, Mutsumi; (JP).
ITO, Takashi; (JP)
Mandataire : WATANUKI, Takao; CreA center Building, 12-9, Nakagosho 3-chome, Nagano-shi, Nagano 380-0935 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) THIN−FILM MAGNETIC HEAD AND PRODUCTION METHOD THEREOF
(FR) TETE MAGNETIQUE A COUCHE MINCE ET PROCEDE DE PRODUCTION DE CETTE DERNIERE
Abrégé : front page image
(EN)It is possible to easily produce a thin−film magnetic head having a high write−in accuracy by suppressing a magnetic field leak between an upper magnetic pole and a lower magnetic pole. On a thin−film magnetic head substrate, a magnetoresistive element (14), a lower magnetic pole (20), a write gap layer (24), and an upper magnetic pole (26) are formed in this order, thereby fabricating the thin film magnetic head. After the lower magnetic pole is formed, the lower magnetic pole (20) is so patterned as to have a larger width than the width of the upper magnetic pole (26) in the write magnetic pole. Subsequently, an insulation layer (30) composed of a non−magnetic body is formed in the same layer as the lower magnetic pole (20) in such a manner that the insulation layer (30) is flattened together with the lower magnetic pole (20). On the surface of the lower magnetic pole (20) and the insulation layer (30), the write gap layer (24) is formed and then the upper magnetic pole (24) is formed on the surface of the write gap layer (24). Lastly, FIB trimming is performed to remove a protrusion of the lower magnetic pole from the side surface.
(FR)L'invention concerne un procédé de production d'une tête magnétique à couche mince qui présente une précision d'écriture élevée. Ce procédé consiste à supprimer une fuite de champ magnétique entre un pôle magnétique supérieur et un pôle magnétique inférieur. Sur un substrat de tête magnétique à couche mince, un élément magnétorésistant (14), un pôle magnétique inférieur (20), une couche (24) d'espace d'écriture et un pôle magnétique supérieur (26) sont formés dans cet ordre, ce qui constitue la tête magnétique à couche mince. Une fois le pôle magnétique inférieur formé, le pôle magnétique inférieur (20) est conçu de manière à ce que sa largeur soit supérieure à celle du pôle magnétique supérieur (26) dans le pôle magnétique d'écriture. Ensuite, une couche d'isolation (30) composée d'un corps non magnétique est formée de la même couche que le pôle magnétique inférieur (20) de telle sorte que la couche d'isolation (30) est aplatie avec le pôle magnétique inférieur (20). Sur la surface du pôle magnétique inférieur (20) et la couche d'isolation (30), la couche d'espace d'écriture (24) est formée et ensuite le pôle magnétique supérieur (24) est formé sur la surface de la couche d'espace d'écriture (24). Enfin, l'ajustage par faisceaux d'ions focalisés est effectué pour supprimer une projection du pôle magnétique inférieur de la surface latérale.
États désignés : CN, JP, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (DE, FR, GB).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)