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1. (WO2003083579) UNITE COLLECTEUR DOTEE D'UN ELEMENT REFLECHISSANT DESTINE A DES SYSTEMES D'ECLAIRAGE D'UNE LONGUEUR D'ONDE INFERIEURE A 193 NM
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/083579    N° de la demande internationale :    PCT/EP2003/002115
Date de publication : 09.10.2003 Date de dépôt international : 01.03.2003
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G21K 1/06 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
WEISS, Markus [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : WEISS, Markus; (DE)
Mandataire : WEITZEL & PARTNER; Friedenstrasse 10 89522 Heidenheim (DE)
Données relatives à la priorité :
102 14 259.9 28.03.2002 DE
Titre (DE) KOLLEKTOREINHEIT MIT EINEM REFLEKTIVEN ELEMENT FÜR BELEUCHTUNGSSYSTEME MIT EINER WELLENLÄNGE KLEINER ALS 193 NM
(EN) COLLECTOR UNIT COMPRISING A REFLECTIVE ELEMENT FOR LIGHTING SYSTEMS HAVING A WAVELENGTH OF LESS THAN 193 NM
(FR) UNITE COLLECTEUR DOTEE D'UN ELEMENT REFLECHISSANT DESTINE A DES SYSTEMES D'ECLAIRAGE D'UNE LONGUEUR D'ONDE INFERIEURE A 193 NM
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Kollektoreinheit für Beleuchtungssysteme mit einer Wellenlänge ≤ 193 nm bevorzugt im Bereich der EUV-Wellenlängen mit mindestens einer Spiegelschale, die eine optische Wirkung aufweist, wobei die Strahlen unter einem Winkel - ≤ 20° zur Oberflächentangente der Spiegelschale auftreffen, und auf mindestens einem Teil der Spiegelschale eine periodische Struktur mit mindestens einer Gitterperiode aufgebracht ist.
(EN)The invention relates to a collector unit for lighting systems having a wavelength of = 193 nm, preferably in the range of EUV wavelengths, comprising at least one mirror dish which has an optical effect. The beams impinge at an angle of = 20° relative to the surface tangent of the mirror dish. A periodic structure comprising at least one grid period is applied to at least one part of the mirror dish.
(FR)L'invention concerne une unité collecteur destinée à des systèmes d'éclairage d'une longueur d'onde = 193 nm, de préférence, située dans la plage des longueurs d'ondes ultraviolet extrême et comprenant au moins une enveloppe réfléchissante ayant une action optique. Les rayons frappent l'enveloppe réfléchissante avec un angle d'incidence = 20° par rapport à la tangente de surface de l'enveloppe réfléchissante. On applique une structure périodique ayant au moins une période réseau au moins sur une partie de l'enveloppe réfléchissante.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)