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1. (WO2003083449) SYSTEME DE DETECTION DES DEFAUTS D'UNE PLAQUETTE PAR UN SCANNER A FAISCEAUX MULTIPLES ET LENTILLES MOBILES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/083449    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/006160
Date de publication : 09.10.2003 Date de dépôt international : 14.03.2003
CIB :
G01N 21/89 (2006.01), G01N 21/95 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD. [IL/IL]; 9 Oppenheimer Street 76705 Rehovot (IL)
Inventeurs : FELDMAN, Haim; (IL).
ELYASAF, Emanuel; (IL).
ELMALIACH, Nissim; (IL).
NAFTALI, Ron; (IL).
GOLDBERG, Boris; (IL).
REINHORN, Silviu; (IL)
Mandataire : KASPER, Alan, J.; SUGHRUE MION, PLLC 2100 Pennsylvania Ave., N.W. Suite 800 Washington, DC 20037-3213 (US)
Données relatives à la priorité :
10/103,560 22.03.2002 US
Titre (EN) WAFER DEFECT DETECTION SYSTEM WITH TRAVELING LENS MULTI-BEAM SCANNER
(FR) SYSTEME DE DETECTION DES DEFAUTS D'UNE PLAQUETTE PAR UN SCANNER A FAISCEAUX MULTIPLES ET LENTILLES MOBILES
Abrégé : front page image
(EN)A system for inspecting a specimen, such as a semiconductor wafer (108) that uses a laser light source (101) for providing a beam of light (151). The beam (151) is applied to a traveling lens acousto-optic device (104) having an active region and responsive to an RF input signal to selectively generate plural traveling lenses in the active region. The traveling lens acousto-optic device (104) is operative to receive the light beam (151) and generate plural flying spot beams, at the respective focus of each of the generated traveling lenses. A light detector unit (110), having a plurality of detector sections, each detector section having a plurality of light detectors and at least one multi-stage storage device operative to receive in parallel an input from the plurality of light detectors, is used to generate useable scan data. Information stored in each of the storage devices is serially read out concurrently from the multiple stages.
(FR)L'invention concerne un système d'inspection d'un spécimen, tel qu'une plaquette à semi-conducteurs, qui utilise une source de lumière laser pour émettre un faisceau de lumière. Le faisceau est dirigé sur un dispositif optico-acoustique à lentilles mobiles qui a une zone active et réagit à un signal d'entrée RF pour générer sélectivement plusieurs lentilles mobiles dans la zone active. Le dispositif optico-acoustique à lentilles mobiles reçoit le faisceau lumineux et génère plusieurs faisceaux explorateurs, au focus respectif de chaque lentille mobile générée. Une unité détecteur de lumière, ayant une pluralité de sections de détection, chaque section de détection ayant une pluralité de détecteurs de lumière et au moins un dispositif de stockage multi-étage destiné à recevoir en parallèle l'entrée de plusieurs détecteurs de lumière, permet de générer des données de balayage utilisables. Des données stockées dans chaque dispositif de stockage sont lues en série simultanément en même temps que les multiples étages.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)