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1. (WO2003083160) EVALUATION D'UN COMPOSANT DE CHAMBRE A REVETEMENT TEXTURE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/083160    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/009430
Date de publication : 09.10.2003 Date de dépôt international : 26.03.2003
CIB :
C23C 4/12 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), G01N 23/203 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; P.O. Box 450A, Santa Clara, CA 95052 (US)
Inventeurs : LIN, Shyh-Nung; (US).
MENZIE, Mark, D.; (US).
SUN, Nimoal; (US)
Mandataire : BERNADICOU, Michael, A.; Blakely, Sokoloff, Taylor & Zafman LLP, 7th floor, 12400 Wilshire Boulevard, Los Angeles, CA 90025 (US)
Données relatives à la priorité :
10/113,847 27.03.2002 US
Titre (EN) EVALUATION OF CHAMBER COMPONENTS HAVING TEXTURED COATINGS CHAMBER COMPONENTS
(FR) EVALUATION D'UN COMPOSANT DE CHAMBRE A REVETEMENT TEXTURE
Abrégé : front page image
(EN)A component for a substrate processing chamber comprises a structure having a textured coating with surface grains. The component is evaluated by directing a beam of electrons onto the textured coating of the component to cause at least some of the electrons to be backscattered. The backscattered electrons are detected and a signal image is generated. The component is selected when the signal image exhibits surface grains sized from about 0.1 to about 5 micron. In one version, the component is also selected when the grains are substantially flower shaped.
(FR)L'invention porte sur un composant d'une chambre de traitement de substrats présentant une surface texturée revêtue de grains. On évalue ledit composant en dirigeant un faisceau d'électrons sur la surface texturée de manière à provoquer la rétrodiffusion d'au moins une partie des électrons qui sont détectés et dont on produit une image. Le composant est retenu lorsque l'image présente des grains de surface d'une taille comprise entre 0,1 et 5 $g(m). Dans une version, composant est retenu lorsque les grains sont sensiblement en forme de fleurs.
États désignés : CN, JP, KR, SG.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)