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1. (WO2003082731) MICRO-VERIN ET COMMUTATEUR OPTIQUE UTILISANT CE VERIN
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/082731    N° de la demande internationale :    PCT/JP2003/003687
Date de publication : 09.10.2003 Date de dépôt international : 26.03.2003
CIB :
B81B 3/00 (2006.01), G02B 6/35 (2006.01), G02B 26/08 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-Chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 (JP) (Tous Sauf US).
ISHIZUYA, Tohru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SUZUKI, Junji [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : ISHIZUYA, Tohru; (JP).
SUZUKI, Junji; (JP)
Mandataire : HOSOE, Toshiaki; Corpo Fuji 605 3-6, Nishikanagawa 1-Chome, Kanagawa-ku Yokohama-Shi, Kanagawa 221-0822 (JP)
Données relatives à la priorité :
2002-91426 28.03.2002 JP
2002-220368 29.07.2002 JP
2003-65051 11.03.2003 JP
Titre (EN) MICRO ACTUATOR AND OPTICAL SWITCH USING THE ACTUATOR
(FR) MICRO-VERIN ET COMMUTATEUR OPTIQUE UTILISANT CE VERIN
Abrégé : front page image
(EN)A micro actuator, comprising a movable part formed of a beam part (13) of cantilever structure having a fixed end fixed through a leg part (12), the beam part (13) further comprising two beam component parts (14) and (15) connected in series to each other between the fixed end and the free end thereof, wherein the beam component part (14) on the fixed end side is a leaf spring part and curved to the opposite side of a substrate (11) when a force is not applied to the beam part (13), the beam component part (15) on the free end side is a rigid part with a rigidity, and a mirror (2) is fitted to the free end side of the beam component part (15), whereby the micro actuator capable of operating with a small drive force can be provided.
(FR)L'invention concerne un micro-vérin comprenant une pièce mobile formée par une lamelle (13) présentant une structure en porte-à-faux comportant une extrémité fixe fixée par un pied (12). La lamelle (13) comporte également deux composants (14, 15) montés en série l'un derrière l'autre, situés entre l'extrémité fixe et l'extrémité libre de la lamelle (13). Le premier composant (14) situé au niveau de l'extrémité fixe de la lamelle (13) est un ressort à lame incurvé, qui s'éloigne d'un substrat (11) lorsqu'aucune force n'est appliquée sur la lamelle (13). Le second composant (15) situé au niveau de l'extrémité libre de la lamelle (13) est une pièce rigide. Le vérin comprend également un miroir (2) monté sur l'extrémité libre du second composant (15). Le micro-vérin de l'invention permet d'obtenir une petite force motrice.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)