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1. (WO2003082507) PROCEDE ET SYSTEME POUR MICRO-USINAGE PRECIS, A GRANDE VITESSE D'UN RESEAU DE DISPOSITIFS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/082507    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/009323
Date de publication : 09.10.2003 Date de dépôt international : 27.03.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    09.10.2003    
CIB :
B23K 26/00 (2014.01), B23K 26/38 (2014.01), H01C 17/22 (2006.01), H01C 17/242 (2006.01)
Déposants : GSI LUMONICS CORPORATION [US/US]; 39 Manning Road, Billerica, MA 01821 (US) (AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BJ, BR, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GW, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MC, MD, MG, MK, ML, MN, MR, MW, MX, MZ, NE, NI, NL, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SN, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW only).
COUCH, Bruce, L. [US/US]; (US) (US Seulement).
EHRMANN, Jonathan, S. [US/US]; (US) (US Seulement).
CHU, Yun, Fee [US/US]; (US) (US Seulement).
LENTO, Joseph, V. [US/US]; (US) (US Seulement).
JOHNSON, Shepard, D. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : COUCH, Bruce, L.; (US).
EHRMANN, Jonathan, S.; (US).
CHU, Yun, Fee; (US).
LENTO, Joseph, V.; (US).
JOHNSON, Shepard, D.; (US)
Mandataire : SYROWIK, David, R.; Brooks & Kushman, Twenty-Second Floor, 1000 Town Center, Southfield, MI 48075 (US)
Données relatives à la priorité :
60/368,421 28.03.2002 US
Titre (EN) METHOD AND SYSTEM FOR HIGH-SPEED, PRECISE MICROMACHINING AN ARRAY OF DEVICES
(FR) PROCEDE ET SYSTEME POUR MICRO-USINAGE PRECIS, A GRANDE VITESSE D'UN RESEAU DE DISPOSITIFS
Abrégé : front page image
(EN)A method and system for high-speed, precise micromachining an array of devices are disclosed wherein improved process throughput and accuracy, such as resistor trimming accuracy, are provided. The number of resistance measurements are limited by using non-measurement cuts, using non-sequential collinear cutting, using spot fan-out parallel cutting, and using a retrograde scanning technique for faster collinear cuts. Non-sequential cutting is also used to manage thermal effects and calibrated cuts are used for improved accuracy. Test voltage is controlled to avoid resistor damage.
(FR)L'invention concerne un procédé et un système conçus pour le micro-usinage précis, à grande vitesse d'un réseau de dispositifs, lesdits procédé et système permettant d'obtenir un meilleur rendement de processus et une précision améliorée, telle qu'une précision d'ajustage de la résistance. Le nombre de mesures de résistance est limité par l'utilisation de coupes non mesurées, d'une coupe colinéaire non séquentielle, d'une coupe parallèle de sortance de points, et d'une technique de balayage rétrograde pour coupes colinéaires plus rapides. Une coupe non séquentielle est également utilisée pour gérer les effets thermiques et des coupes étalonnées sont utilisées pour une précision améliorée. Une tension d'essai est régulée pour éviter des dommages de résistance.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)