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1. (WO2003081361) REGULATEUR DE DEBIT MASSIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/081361    N° de la demande internationale :    PCT/JP2003/003387
Date de publication : 02.10.2003 Date de dépôt international : 20.03.2003
CIB :
G05D 7/06 (2006.01)
Déposants : STEC INC. [JP/JP]; 2, Miyanohigashicho, Kisshoin, Minami-ku, Kyoto-shi, Kyoto 601-8510 (JP) (Tous Sauf US).
NISHIKAWA, Masami [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMAGUCHI, Masao [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NISHIKAWA, Masami; (JP).
YAMAGUCHI, Masao; (JP)
Mandataire : FUJIMOTO, Hideo; Daihatsu Building 5th Floor, 2-40, Katamachi 2-chome, Miyakojima-ku, Osaka-shi, Osaka 534-0025 (JP)
Données relatives à la priorité :
2002-82297 25.03.2002 JP
Titre (EN) MASS FLOW CONTROLLER
(FR) REGULATEUR DE DEBIT MASSIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A mass flow controller capable of stably flowing a target flow at all times even when a pressure fluctuation occurs on any of the upstream side and downstream side thereof, comprising a flow control valve, a flow sensor, a pressure control valve disposed on the upstream side of the flow control valve, a pressure sensor disposed between the pressure control valve and the flow control valve, and a control part for controlling the pressure control valve by the feedback of the output of the pressure sensor.
(FR)L'invention concerne un régulateur de débit massique conçu pour permettre l'écoulement stable d'un écoulement cible à tout moment, même en cas de variation de pression sur l'un ou l'autre des côtés amont et aval. Le régulateur décrit dans cette invention comprend une soupape de régulation de débit, un capteur de débit, une soupape de régulation de pression placé sur le côté amont de la soupape de régulation de débit, un capteur de pression disposé entre la soupape de régulation de pression et la soupape de régulation de débit, et un élément de commande permettant de commander la soupape de régulation de pression par la rétroaction de la sortie du capteur de pression.
États désignés : CN, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)