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1. (WO2003081337) DISPOSITIF PERMETTANT DE MODIFIER LA POSITION ANGULAIRE D'UN OBJET PAR RAPPORT A UNE STRUCTURE FIXE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/081337    N° de la demande internationale :    PCT/EP2003/002778
Date de publication : 02.10.2003 Date de dépôt international : 18.03.2003
CIB :
G02B 7/02 (2006.01), G02B 7/18 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22, 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
WEBER, Ulrich [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HOLDERER, Hubert [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
MUENKER, Hartmut [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : WEBER, Ulrich; (DE).
HOLDERER, Hubert; (DE).
MUENKER, Hartmut; (DE)
Mandataire : LORENZ, Werner; Alte Ulmer Str. 2, 89522 Heidenheim (DE)
Données relatives à la priorité :
102 12 547.3 21.03.2002 DE
Titre (DE) VORRICHTUNG ZUR MANIPULATION DER WINKELLAGE EINES GEGENSTANDS GEGENÜBER EINER FESTEN STRUKTUR
(EN) DEVICE FOR MANIPULATION OF THE ANGULAR POSITION OF AN OBJECT RELATIVE TO A FIXED STRUCTURE
(FR) DISPOSITIF PERMETTANT DE MODIFIER LA POSITION ANGULAIRE D'UN OBJET PAR RAPPORT A UNE STRUCTURE FIXE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Manipulation der Winkellage eines Gegenstands (1) gegenüber einer festen Struktur (4), in der der Gegenstand (1), insbesondere ein optisches Element in einem Objektiv für die Mikrolithographie eingebracht ist, um drei sich in einem Punkt schneidende Kippachsen (x, y, z). Der Gegenstand (1) kann auch in einem Tragrahmen (2) gefasst sein. Der Tragrahmen (2) mit dem Gegenstand (1) ist durch drei Anbindungsglieder (3a, b, c, …, n) mit jeweils drei Rotationsbeweglichkeiten und einer Translationsbeweglichkeit mit der festen Struktur (4) verbunden. Die Winkellage des Tragrahmens (2) ist durch jeweils eines der Anbindungsglieder (3a, b, c, …, n) um jeweils eine der drei Kippachsen (x, y, z) verstellbar.
(EN)The invention relates to a device for manipulation of the angular position of an object (1) relative to a fixed structure (4), into which the object, in particular an optical element of a lens group for microlithography, is introduced, about three rotational axes (x, y, z), intersecting at a point. The object (1) can also be held in a support frame (2). The support frame (2), with the object (1) is connected to the fixed structure (4) by means of three connection limbs (3a, b, c, , n) each with three rotational degrees of freedom and one translational degree of freedom. The angular position of the support frame (2) is adjustable about each one of the three rotational axes (x, y, z), by means of one of the connection limbs (3a, b, c, , n).
(FR)L'invention concerne un dispositif permettant de modifier la position angulaire d'un objet (1) par rapport à une structure fixe (4) autour de trois axes d'inclinaison (x, y, z) se croisant en un point, structure dans laquelle est placé ledit objet (1), en particulier un élément optique d'un objectif pour microlithographie. Cet objet (1) peut également être monté sur un cadre support (2). Ce cadre support (2) avec l'objet (1) est relié à la structure fixe (4) par le biais de trois éléments de fixation (3a, b, c, , n) présentant chacun trois degrés de liberté de rotation et un degré de liberté de translation. La position angulaire du cadre support (2) peut être réglée autour d'un des trois axes d'inclinaison (x, y, z) par l'intermédiaire d'un des éléments de fixation (3a, b, c, , n).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CN, CO, CR, CU, DM, DZ, EC, EE, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, RO, RU, SD, SG, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)