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1. (WO2003081216) CONTROLE DE TRAITEMENT UTILISANT DES DIAGNOSTICS OPTIQUES INFRAROUGES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/081216    N° de la demande internationale :    PCT/US2003/006710
Date de publication : 02.10.2003 Date de dépôt international : 17.03.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    06.08.2003    
CIB :
G01N 21/35 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; TBS Broadcast Center, 3-6 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (Tous Sauf US).
LUDVIKSSON, Audunn [IS/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : LUDVIKSSON, Audunn; (US)
Mandataire : CASEY, Michael, R.; Oblon, Spivak, McClelland, Maier & Neustadt, P.C., 1940 Duke Street, Alexandria, VA 22314 (US)
Données relatives à la priorité :
60/365,529 20.03.2002 US
Titre (EN) PROCESS MONITORING USING INFRARED OPTICAL DIAGNOSTICS
(FR) CONTROLE DE TRAITEMENT UTILISANT DES DIAGNOSTICS OPTIQUES INFRAROUGES
Abrégé : front page image
(EN)A method and apparatus for real-time monitoring of the substrate and the gaseous process environment in a semiconductor process step is described. The method uses infrared spectroscopy for in-situ analysis of gaseous molecular species in the process region (120) and characterization of adsorbed chemical species on a substrate (110). The process monitoring can be applied to endpoint- and fault detection in etching and deposition processes, and chamber cleaning and chamber condition steps.
(FR)La présente invention a trait à un procédé et un appareil permettant le contrôle en temps réel d'un substrat et d'un environnement de traitement gazeux dans une étape de traitement de semi-conducteurs. Le procédé utilise la spectroscopie infrarouge pour l'analyse in situ d'espèces moléculaires gazeuses dans la zone de traitement et la caractérisation d'espèces chimiques adsorbées sur un substrat. Le contrôle de traitement est applicable à la détection au point terminal et de défauts dans des traitements de gravure et de dépôt, en sus des étapes de nettoyage d'enceinte et de conditionnement d'enceinte.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NI, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)