WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2003071600) MECANISME DE TRANSPORT POUR SUBSTRATS, UTILISE DANS UN SYSTEME DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/071600    N° de la demande internationale :    PCT/JP2003/000845
Date de publication : 28.08.2003 Date de dépôt international : 29.01.2003
CIB :
H01L 21/687 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome Minato-ku, Tokyo 107-8481 (JP) (Tous Sauf US).
HIROKI, Tsutomu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
SAEKI, Hiroaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HIROKI, Tsutomu; (JP).
SAEKI, Hiroaki; (JP)
Mandataire : SUZUYE, Takehiko; c/o SUZUYE & SUZUYE 7-2, Kasumigaseki 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-0013 (JP)
Données relatives à la priorité :
2002/47509 25.02.2002 JP
Titre (EN) SUBSTRATE SUPPORT MECHANISM IN SEMICONDUCTOR PROCESSING SYSTEM
(FR) MECANISME DE TRANSPORT POUR SUBSTRATS, UTILISE DANS UN SYSTEME DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS
Abrégé : front page image
(EN)A substrate support mechanism (12A) in a semiconductor processing system used for transferring a processed substrate (W) in association with a conveying arm (32), comprising first and second holding parts (38A to 38C, 40A to 40C) liftable and exchangeable the substrate with the conveying arm and first and second drive parts (46, 48) for lifting the first and second holding parts, and a control part (68) for controlling the first and second drive parts, wherein the first and second holding parts are vertically movable relative to each other without spatially interfering with each other and disposed so as to hold the substrate having a substantially same horizontal coordinate, and the control part controls the first and second drive parts so as to selectively hold the substrate by the first and second holding parts.
(FR)L'invention concerne un mécanisme de transport pour substrats (12A) utilisé dans un système de traitement de semi-conducteurs, comprenant un bras de transport (32) servant à transporter un substrat (W). Le mécanisme comprenant un premier et un second élément de transport (38A à 38C, 40A à 40C) conçus pour soulever et pour remplacer un substrat à l'aide du bras de transport, un premier et un second élément d'entraînement (46, 48) conçus pour soulever le premier et le second élément de transport, ainsi qu'un élément de commande (68) servant à commander le premier et le second élément d'entraînement. Le premier et le second élément de transport peuvent être déplacés verticalement l'un par rapport à l'autre sans entrer en contact l'un avec l'autre et sont disposés de manière à pouvoir transporter un substrat dont les coordonnées horizontales sont sensiblement identiques. L'élément de commande sert à commander le premier et le second élément d'entraînement pour transporter sélectivement le substrat à l'aide du premier et du second élément de transport.
États désignés : CN, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)