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1. (WO2003071369) SYSTEME ET PROCEDE D'ADMINISTRATION, DE CONTROLE ET DE MELANGE DE PRODUITS CHIMIQUES ET DE BOUE POUR UN SYSTEME CMP/DE NETTOYAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/071369    N° de la demande internationale :    PCT/US2002/041533
Date de publication : 28.08.2003 Date de dépôt international : 23.12.2002
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    05.09.2003    
CIB :
G05D 11/13 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538 (US)
Inventeurs : PHAM, Xuyen; (US).
NGUYEN, Tuan; (US).
QUACH, Vien; (US).
ZHOU, Ren; (US)
Mandataire : LEAVELL, George, B.; Martine & Penilla, LLP, Suite 170, 710 Lakeway Drive, Sunnyvale, CA 94085 (US)
Données relatives à la priorité :
10/077,831 15.02.2002 US
Titre (EN) SYSTEM AND METHOD FOR POINT OF USE DELIVERY, CONTROL AND MIXING CHEMICAL AND SLURRY FOR CMP/CLEANING SYSTEM
(FR) SYSTEME ET PROCEDE D'ADMINISTRATION, DE CONTROLE ET DE MELANGE DE PRODUITS CHIMIQUES ET DE BOUE POUR UN SYSTEME CMP/DE NETTOYAGE
Abrégé : front page image
(EN)A chemical mechanical planarization system includes a point of use chemical mixing system (210), a first and a second pump (214), a first and a second flow sensor (216, 236), a mixer (220) and a controller (240). The first pump (214) has an input coupled to a first chemical supply (101) and the first flow sensor (216) coupled to the output of the first pump (214). The second pump (234) has an input coupled to a second chemical supply (103) and the second flow sensor (236) coupled to the output of the second pump (234). The mixer (220) has inputs coupled to the output of the first and second flow sensors (216, 236). The controller (240) is configured to receive signals from the first and second flow sensors (216, 236) and to produce control signals for the first and second pumps (214, 234) and the mixer (220).
(FR)L'invention porte sur un système de planarisation chimico-mécanique comprenant un système de mélange de produits chimiques (201), une première et une seconde pompe (214, 234), un premier et un second capteur de flux (216, 236), un mélangeur (220), et un contrôleur (240). La première pompe (214) est dotée d'une entrée couplée à une première alimentation en produits chimiques (101) et le premier capteur de flux (216) est couplé à la sortie de la première pompe (214). La seconde pompe (234) présente une entrée couplée à une seconde alimentation en produits chimiques (103) et le second capteur de flux (236) est couplé à la sortie de la seconde pompe (234). Le mélangeur (220) est pourvu d'entrées couplées à la sortie des premiers et seconds capteurs de flux (216, 236). Le contrôleur (240) est configuré de manière à recevoir des signaux depuis les premiers et seconds capteurs de flux (216, 236) et à produire des signaux de contrôle pour les premières et secondes pompes (214, 234) et le mélangeur (220).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)