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1. (WO2003071353) PROCEDE ET APPAREIL DE FORMATION D'IMAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2003/071353    N° de la demande internationale :    PCT/SE2003/000238
Date de publication : 28.08.2003 Date de dépôt international : 13.02.2003
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    25.09.2003    
CIB :
G02B 7/182 (2006.01), G02B 26/10 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : MICRONIC LASER SYSTEMS AB [SE/SE]; IPR & Legal Department, Nytorpsvägen 9, S-183 03 Täby (SE) (Tous Sauf US).
SANDSTRÖM, Torbjörn [SE/SE]; (SE) (US Seulement)
Inventeurs : SANDSTRÖM, Torbjörn; (SE)
Mandataire : MICRONIC LASER SYSTEMS AB; IPR & Legal Department, Nytorpsvägen 9, S-183 03 Täby (SE)
Données relatives à la priorité :
0200547-8 25.02.2002 SE
Titre (EN) AN IMAGE FORMING METHOD AND APPARATUS
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE FORMATION D'IMAGE
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus for patterning a work piece arranged at an image plane and covered at least partly with a layer sensitive to electromagnetic radiation, comprising a source emitting electromagnetic radiation onto an object plane, an SLM comprising a plurality of on-off object pixels, adapted to receive and modulating said electromagnetic radiation at said object plane in accordance to an input pattern description and to relay said electromagnetic radiation toward said work piece, a synchroniser to synchronise the motion of the work piece relative to a relayed patter description from said SLM onto said work piece, and an image-deflecting element arranged between said SLM and said work piece adapted to deflect said relayed pattern description. The apparatus also comprises, a scanning element to scan at least one beam from said radiation source over said radiation sensitive material. The SLM modulates said at least one beam during scanning according to an input pattern data file, where said modulation of the beam creates a coherent sub-images on the work piece and several sub-images are non-coherently superposed to create a final image. The invention also relates to a method of patterning a work piece and a work piece as such.
(FR)La présente invention concerne un appareil qui permet de former un motif sur un matériau sensible au rayonnement, cet appareil comprenant une source formant un faisceau de rayonnement, un élément de balayage qui balaie au-dessus du matériau sensible au rayonnement, au moins un faisceau provenant de ladite source de rayonnement, un modulateur qui module le ou les faisceaux pendant le balayage en fonction d'un fichier de données de motif d'entrée. La modulation du faisceau crée une sous-image cohérente sur l'élément à travailler et plusieurs sous-images sont superposées de manière non cohérente pour créer une image finale. Cette invention concerne également un procédé de formation de motif sur un élément à travailler et un tel élément à travailler.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)